ANALYSE DES PROCÉDÉS DE GRAVURE POUR LES DISPOSITIFS OPTOÉLECTRONIQUES

光通讯：光通讯：光通讯：光通讯：光通讯：光通讯：光通讯。微加工技术的应用和微加工技术的应用，以及MEMS工业的应用。该程序的<s:1> <s:1> ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** *。**随着研究合作项目的开展，我们提出了一种新的分析方法，即采用凹版等离子体加工和微加工的方式生产产品。Plus pracimassimement, nous nous intacimresserons aux procsamdacimans **de gravure des diacimtriques, en samutuant les sources plasmas les Plus pertinentes pour contrôler les procsamdacrimes de**gravure。在巴桑特节关于一个revue de la litterature des韧de凹印des materiaux dielectriques, * *我们mettrons En联合国计划d 'experiences realiserons关于不同设备de凹印afin * *德限定词les优点之一等不便de每d型'equipement de凹印倒l 'application visee。**印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印、印。Ces上一个重要结果是把握住倒Aeponyx汽车le controle des为支持* * doit可能准冻糕确实de 5 nm de宽容- et de凹印不是汽车全部的机器的输出* * d 'atteindre Ces上表演。将进行必要的调查，以确保调查人员了解其功能，并确保调查人员了解其工作表现。* *拉公司Aeponyx beneficiera所以fortement des retombees de这个项目de矫揉造作的et par La meme勒* *加拿大,en renforcant儿子专长等ses capacites de生产en dispositifs optoelectroniques innovants。** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** ** *

Aeponyx développe et fabrique des puces optoélectroniques vouées à l'infonuagique. La fabrication de ces**puces repose sur les procédés de microfabrication utilisés dans l'industrie des MEMS. Ces procédés doivent**être parfaitement contrôlés pour que les puces soient fonctionnelles.**Dans ce projet de recherche collaboratif, nous proposons d'analyser les procédés de gravure plasma nécessaires**à la microfabrication des puces produites par Aeponyx. Plus précisément, nous nous intéresserons aux procédés**de gravure des diélectriques, en étudiant les sources plasmas les plus pertinentes pour contrôler les procédés de**gravure. En nous basant sur une revue de la littérature des mécanismes de gravure des matériaux diélectriques,**nous mettrons en place un plan d'expériences que nous réaliserons sur différents équipements de gravure, afin**de déterminer les avantages et inconvénients de chaque type d'équipement de gravure pour l'application visée.**Ainsi, nous identifierons les réacteurs de gravure les plus performants pour permettre à Aeponyx de produire**des puces optimales. Ces résultats sont d'une importance capitale pour Aeponyx car le contrôle des procédés**doit être quasi parfait -moins de 5nm de tolérance-, et car toutes les machines de gravure ne sont pas capables**d'atteindre ces performances. Il est donc essentiel avant d'investir dans un équipement de s'assurer de bien**comprendre son fonctionnement et vérifier que l'équipement atteindra la performance visée.**La compagnie Aeponyx bénéficiera donc fortement des retombées de ce projet de recherche, et par la même le**Canada, en renforçant son expertise et ses capacités de production en dispositifs optoélectroniques innovants.**Ces dispositif ont par ailleurs la capacité de réduire la consommation des centres de données, et donc de réduire**l'emprunte écologique globale, ce à quoi s'est engagé le Candaa dans les accords de Paris.