ANALYSE DES PROCÉDÉS DE GRAVURE POUR LES DISPOSITIFS OPTOÉLECTRONIQUES

Aeponyx décampe et fabrique des puces optoélectroniques vouées à l'infonuagique. La fabrication de ces**puces repose sur les procédés de microfabrication utilisés dans l'industrie des MEMS.这些程序 ** 是为了使这些问题得到妥善处理而进行的控制。在合作研究项目中，我们建议分析Aeponyx产品的微细加工所需的凹版等离子体工艺。此外，我们还对印刷电路板的印刷过程感兴趣，并研究了等离子体源，以控制印刷过程。在我们对印刷机械材料的研究基础上，** 我们提出了一个关于不同印刷设备的实验计划，以确定印刷设备类型的优点和缺点。**此外，我们确定了凹版印刷的最佳性能，以确保最佳的产品性能。这些结果对Aeponyx来说非常重要，因为它可以控制过程 **doit être quasi parfait -moins de 5 nm de tolérance-，而且所有的凹版印刷机都不能 ** d 'atteindre这些性能。它必须在投资于一个确保良好的设备 ** 之前完成其功能，并验证设备是否能保证所见的性能。Aeponyx bénéficiera公司致力于该研究项目的研究，并与 ** 加拿大公司合作，加强其专门知识和生产创新光电器件的能力。这是为了提高捐助中心的消费能力，并促进全球生态学的发展，这就是为什么《巴黎协定》规定了坎达。

Aeponyx développe et fabrique des puces optoélectroniques vouées à l'infonuagique. La fabrication de ces**puces repose sur les procédés de microfabrication utilisés dans l'industrie des MEMS. Ces procédés doivent**être parfaitement contrôlés pour que les puces soient fonctionnelles.**Dans ce projet de recherche collaboratif, nous proposons d'analyser les procédés de gravure plasma nécessaires**à la microfabrication des puces produites par Aeponyx. Plus précisément, nous nous intéresserons aux procédés**de gravure des diélectriques, en étudiant les sources plasmas les plus pertinentes pour contrôler les procédés de**gravure. En nous basant sur une revue de la littérature des mécanismes de gravure des matériaux diélectriques,**nous mettrons en place un plan d'expériences que nous réaliserons sur différents équipements de gravure, afin**de déterminer les avantages et inconvénients de chaque type d'équipement de gravure pour l'application visée.**Ainsi, nous identifierons les réacteurs de gravure les plus performants pour permettre à Aeponyx de produire**des puces optimales. Ces résultats sont d'une importance capitale pour Aeponyx car le contrôle des procédés**doit être quasi parfait -moins de 5nm de tolérance-, et car toutes les machines de gravure ne sont pas capables**d'atteindre ces performances. Il est donc essentiel avant d'investir dans un équipement de s'assurer de bien**comprendre son fonctionnement et vérifier que l'équipement atteindra la performance visée.**La compagnie Aeponyx bénéficiera donc fortement des retombées de ce projet de recherche, et par la même le**Canada, en renforçant son expertise et ses capacités de production en dispositifs optoélectroniques innovants.**Ces dispositif ont par ailleurs la capacité de réduire la consommation des centres de données, et donc de réduire**l'emprunte écologique globale, ce à quoi s'est engagé le Candaa dans les accords de Paris.