ANALYSE DES PROCÉDÉS DE GRAVURE POUR LES DISPOSITIFS OPTOÉLECTRONIQUES
ANALYSE DES PROCÉDÉS DE GRAVURE POUR LES DISPOSITIFS OPTOÉLECTRONIQUES
批准号:
528817-2018
负责人:
Darnon, Maxime
金额:
$1.82万
依托单位:
依托单位国家:
加拿大
项目类别:
Engage Grants Program
财政年份:
2018
资助国家:
加拿大
项目状态:
已结题
起止时间:
2018-01-01 至 2019-12-31
中文摘要
Aeponyx décampe et fabrique des puces optoélectroniques vouées à l'infonuagique. La fabrication de ces**puces repose sur les procédés de microfabrication utilisés dans l'industrie des MEMS.这些程序 ** 是为了使这些问题得到妥善处理而进行的控制。在合作研究项目中,我们建议分析Aeponyx产品的微细加工所需的凹版等离子体工艺。此外,我们还对印刷电路板的印刷过程感兴趣,并研究了等离子体源,以控制印刷过程。在我们对印刷机械材料的研究基础上,** 我们提出了一个关于不同印刷设备的实验计划,以确定印刷设备类型的优点和缺点。**此外,我们确定了凹版印刷的最佳性能,以确保最佳的产品性能。这些结果对Aeponyx来说非常重要,因为它可以控制过程 **doit être quasi parfait -moins de 5 nm de tolérance-,而且所有的凹版印刷机都不能 ** d 'atteindre这些性能。它必须在投资于一个确保良好的设备 ** 之前完成其功能,并验证设备是否能保证所见的性能。Aeponyx bénéficiera公司致力于该研究项目的研究,并与 ** 加拿大公司合作,加强其专门知识和生产创新光电器件的能力。这是为了提高捐助中心的消费能力,并促进全球生态学的发展,这就是为什么《巴黎协定》规定了坎达。
英文摘要
Aeponyx développe et fabrique des puces optoélectroniques vouées à l'infonuagique. La fabrication de ces**puces repose sur les procédés de microfabrication utilisés dans l'industrie des MEMS. Ces procédés doivent**être parfaitement contrôlés pour que les puces soient fonctionnelles.**Dans ce projet de recherche collaboratif, nous proposons d'analyser les procédés de gravure plasma nécessaires**à la microfabrication des puces produites par Aeponyx. Plus précisément, nous nous intéresserons aux procédés**de gravure des diélectriques, en étudiant les sources plasmas les plus pertinentes pour contrôler les procédés de**gravure. En nous basant sur une revue de la littérature des mécanismes de gravure des matériaux diélectriques,**nous mettrons en place un plan d'expériences que nous réaliserons sur différents équipements de gravure, afin**de déterminer les avantages et inconvénients de chaque type d'équipement de gravure pour l'application visée.**Ainsi, nous identifierons les réacteurs de gravure les plus performants pour permettre à Aeponyx de produire**des puces optimales. Ces résultats sont d'une importance capitale pour Aeponyx car le contrôle des procédés**doit être quasi parfait -moins de 5nm de tolérance-, et car toutes les machines de gravure ne sont pas capables**d'atteindre ces performances. Il est donc essentiel avant d'investir dans un équipement de s'assurer de bien**comprendre son fonctionnement et vérifier que l'équipement atteindra la performance visée.**La compagnie Aeponyx bénéficiera donc fortement des retombées de ce projet de recherche, et par la même le**Canada, en renforçant son expertise et ses capacités de production en dispositifs optoélectroniques innovants.**Ces dispositif ont par ailleurs la capacité de réduire la consommation des centres de données, et donc de réduire**l'emprunte écologique globale, ce à quoi s'est engagé le Candaa dans les accords de Paris.
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会议论文
DAMAGELESS ETCHING PROCESSES
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批准号:RGPIN-2016-03691
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.67万
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财政年份:2022
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
High voltage photo transducers
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批准号:567013-2021
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项目类别:Alliance Grants
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
DAMAGELESS ETCHING PROCESSES
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批准号:RGPIN-2016-03691
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负责人:Darnon, Maxime
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财政年份:2021
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
DAMAGELESS ETCHING PROCESSES
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批准号:RGPIN-2016-03691
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$2.26万
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财政年份:2020
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
Etude et développement d'une solution à faible empreinte carbone pour les stations de télécommunication (SAFE TELECOM)
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批准号:558371-2020
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项目类别:Alliance Grants
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资助金额:$5.2万
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财政年份:2020
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
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批准号:RGPIN-2016-03691
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$2.26万
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财政年份:2019
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
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批准号:RGPIN-2016-03691
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$2.26万
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财政年份:2018
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
DAMAGELESS ETCHING PROCESSES
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批准号:RGPIN-2016-03691
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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财政年份:2017
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
Antireflective coatings for hybrid thermal/CPV
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批准号:507222-2016
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项目类别:Engage Grants Program
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资助金额:$1.82万
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财政年份:2016
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
DAMAGELESS ETCHING PROCESSES
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批准号:RGPIN-2016-03691
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$2.26万
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财政年份:2016
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
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批准号:477892-2015
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项目类别:Engage Grants Program
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资助金额:$1.82万
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财政年份:2015
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
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批准号:484633-2015
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项目类别:Engage Grants Program
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资助金额:$1.82万
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财政年份:2015
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负责人:Darnon, Maxime
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依托单位:
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基于碱性DES辅助杜仲胶提取过程中杜仲胶解离机制的研究
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资助金额:54万元
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批准年份:2022
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负责人:刘仕伟
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依托单位:
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项目类别:青年科学基金项目
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批准年份:2022
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依托单位:
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项目类别:省市级项目
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资助金额:10.0万元
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批准年份:2022
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