Selbstorganisiertes Wachstum nanoskaliger Multilagenschichten bei der Kodeposition niederenergetischer Metall- und Kohlenstoffionen

通过我们和Ting等人（台湾）的自组织纳米材料多相合成实验，合成了金属-柯伦斯托夫（Me-C）纳米复合材料。在能量为100 eV的Me-和C-原子上的光沉积比离子沉积还要高，这也是在周期变化的Me- bzw上的多层溅射沉积。C-Konzentration mit Periodenlängen von 10-20 nm.这些现象在文献中并不为我们所知，而且对于Au、Cu和Pt也是金属（Fe、Ni）的碳化物。我的稳定性。我-卡尔比德集群gegenüber Ionenbestrahlung，该Effizienz的隔离和电影的fläche和damit verbunden该Me-Sputterausbeute scheinen dabei一个wichtige角色zu spielen。在金属和柯伦斯托菲奥恩的沉积作用下，纳米材料的自组织多功能性在能量、离子流动和温度方面都有韦尔登。因此，所有的人力资源开发都是为了开发多层结构和多层结构教育的模型，以开发韦尔登。我们知道，这种自组织过程也是一种很好的沉积技术，也是一种用于沉积物的元素组合。

Experimente zur Synthese von Metall-Kohlenstoff (Me-C) Nanokompositen durch uns und Ting et al. (Taiwan) zeigten selbstorganisiertes Wachstum nanoskaliger Multilagenschichten. Die Kodeposition von Me- und C-Atomen mit Energien um hundert eV sowohl über Ionendeposition als auch Sputterdeposition führte zu Multilagenschichten mit periodisch variierender Me- bzw. C-Konzentration mit Periodenlängen von 10-20 nm. Das Phänomen ist unseres Wissens bisher nicht in der Literatur beschrieben und wird für Au, Cu und Pt als auch für karbidbildende Metalle (Fe, Ni) beobachtet. Die Stabilität von Me- bzw. Me- Karbidclustern gegenüber Ionenbestrahlung, die Effizienz der Segregation an der Filmoberfläche und damit verbunden die Me-Sputterausbeute scheinen dabei eine wichtige Rolle zu spielen. Es soll die selbstorganisierte Bildung nanoskaliger Multischichten bei der Kodeposition von Metall- und Kohlenstoffionen als Funktion von Energie, Ionenfluss, und Temperatur untersucht werden. Aus den Ergebnissen sollen allgemeine Vorhersagen zur Entstehung der Multilagen abgeleitet und Modelle zur Multilagenbildung entwickelt werden. Wir erwarten, dass dieser Selbstorganisationsprozess auch bei weiteren Kodepositionstechniken und auch für andere Elementkombinationen von Bedeutung ist.