Ionenstrahlätzanlage

德国德累斯顿工业大学<s:1>研究与发展研究所Festkörperelektronik德国德累斯顿工业大学<s:1>研究与发展研究所hochauflösender德国热能与红外传感器研究所。Derartige Sensoren werden welwelth在Geräten zur Gasanalyse， der Sicherheitstechnik， der Gebäudeautomatisierung和der Wärmebildtechnik eingesetzt。In den letzten Jahren wurde am IFE as Ionenstrahlätzen zueiner basistech zur Herstellung hochauflösender热电学红外传感器的研究进展。as Ionenstrahlätzen wind dabei fr abd<e:1> nnprozesse und die räumliche struckturierung der pyroelektrischen Einkristalle im um - bereich sowie zur struckturierung spezieller metalldnnschichtsysteme genutzt。Mit Dicken der freitrgenen strahlungsempfinlichen element under 5µm werden internationale Spitzenwerte bezglich der spezifischen Detektivität fsr Sensoren auder Basis on lithium - tantanat erreicht。新型无级结构传感器芯片的研制与应用。Das Ionenstrahlätzen wurde bisher mit iner Anlage durchgef<s:1> hrt， deren Betrieb aufgrundher her lieferver ersatzteer和eines stark eingeschränkten Services durch Veeco nicht mehr abgesichert werden kann。Zum Anderen lassen die besseren technischen Eigenschaften neuanlagen deitich Steigerung der Prozessausbeute und -zuverlässigkeit and dertechnischen Möglichkeiten erwarten。

Das Institut für Festkörperelektronik der TU Dresden führt Forschungen und Entwicklungen auf dem Gebiet hochauflösender thermischer Infrarotsensoren durch. Derartige Sensoren werden weltweit millionenfach in Geräten zur Gasanalyse, der Sicherheitstechnik, der Gebäudeautomatisierung und der Wärmebildtechnik eingesetzt. In den letzten Jahren wurde am IFE das Ionenstrahlätzen zu einer Basistechnologie zur Herstellung hochauflösender pyroelektrischer Infrarotsensoren entwickelt. Das Ionenstrahlätzen wird dabei für Abdünnprozesse und die räumliche Strukturierung der pyroelektrischen Einkristalle im µm-Bereich sowie zur Strukturierung spezieller Metalldünnschichtsysteme genutzt. Mit Dicken der freitragenden strahlungsempfindlichen Elemente unter 5 µm werden internationale Spitzenwerte bezüglich der spezifischen Detektivität für Sensoren auf der Basis von Lithiumtantalat erreicht. Neueste Untersuchungen an dreidimensional strukturierten Chips zeigen viel versprechende Ergebnisse zur Steigerung der Empfindlichkeit von pyroelektrischen Sensoren. Das Ionenstrahlätzen wurde bisher mit einer Anlage durchgeführt, deren Betrieb aufgrund nicht mehr lieferbarer Ersatzteile und eines stark eingeschränkten Services durch Veeco nicht mehr abgesichert werden kann. Zum Anderen lassen die besseren technischen Eigenschaften neuer Anlagen eine deutliche Steigerung der Prozessausbeute und -zuverlässigkeit und der technologischen Möglichkeiten erwarten.