Micromachining of brittle materials applying ductile mode dicing and profile grinding

Trenn- und Profilschleifen eignet sich hervorragend zur mechanischen Mikrobearbeitung sprödharter Werkstoffe，da es insbesondere bei duktiler Prozeßführung hohe Maßgenauigkeit mit exzellenter Oberflächengüte und Kantenqualität verbindet.在这些工具中，最小的厚度为50 µm。Im Rahmen dieses Vorhabens sollen technologische Untersuchungen zur Fertigung dreidimensionaler Strukturen durchgeführt韦尔登.该技术的发展是在膜结构和结构的基础上进行的。Ferner ist die Optimierung der Prozeßführung für ultraschmale Blätter vorgesehen.劳动力只能由韦尔登示范。Hierzu dienen ein Mikrotaster，bei dem der Taststift auf einer Membran sitzt，and ein Escherischer Testkörper mit Mikrokanälen.

Trenn- und Profilschleifen eignet sich hervorragend zur mechanischen Mikrobearbeitung sprödharter Werkstoffe, da es insbesondere bei duktiler Prozeßführung hohe Maßgenauigkeit mit exzellenter Oberflächengüte und Kantenqualität verbindet. Durch laufende Fortschritte bei den als Werkzeuge dienenden Trennschleifblättern sind inzwischen Schnittbreiten kleiner 50 µm möglich. Im Rahmen dieses Vorhabens sollen technologische Untersuchungen zur Fertigung dreidimensionaler Strukturen durchgeführt werden. Die Entwicklung geeigneter Fertigungstechniken erfolgt am Beispiel der Herstellung von Membranen und Säulenstrukturen. Ferner ist die Optimierung der Prozeßführung für ultraschmale Blätter vorgesehen. Die Fortschritte der Arbeit sollen anhand von Demonstratoren dokumentiert werden. Hierzu dienen ein Mikrotaster, bei dem der Taststift auf einer Membran sitzt, und ein thermodynamischer Testkörper mit Mikrokanälen.