Tomografische Mikrointerferometrie unter Verwendung von Flüssigkristallen

一个现代光学系统是集成光学相位元件的。这是一个Mikrolinsen，Bragg-Gitter和Wellenleiterstrukturen。Für die Funktionswise dieser Elemente ist die dreidimensional Brechungsindex-Verteilung von entscheidender Bedeutung. Brechungsindexes的不均匀性的测量结果是不确定的，因此，在对元件进行测试的过程中，光学系统的质量是确定的。该方法的Mehrzahl，即在JCM 3小韦尔登中测量光学相位元件的时刻，是一种独立的性质（beispielsweise Messung der Beugungs-effizienz）。Sie gewinnen globale Informationen über das（Fehl-）Verhalten des Elements，können aber die lokale Ursache einer möglichen Fehlfunktion nicht klären.项目内部采用了一种新的测量方法，以测量三维相位。Brechungsindex-Verteilungen untersucht und implementiert韦尔登。采用离轴Mikroskopie的层析干涉测量方法的综合原理是一种高分辨率的放大方法。Dabei soll durch den Einquiraktiv schaltbarer Flüssigkristall-elemente eine neue Anordnung realisiert韦尔登，die sich außerdem durch hohe Robustheit und reduzierte Messzeit auszeichnet.该方法适用于由韦尔登验证的微光学和微光学结构之间的差异。

Eine Vielzahl moderner optischer Systeme beinhaltet integrierte optische Phasenelemente. Beispiele sind Mikrolinsen, Bragg-Gitter und Wellenleiterstrukturen. Für die Funktionsweise dieser Elemente ist die dreidimensionale Brechungsindex-Verteilung von entscheidender Bedeutung. Die Messung von Inhomogenitäten des Brechungsindexes ist dabei unabdingbar, um die Prozesse zur Herstellung der Elemente weiter zu verbessern und die Qualität des optischen Systems sicherzustellen. Die Mehrzahl der Methoden, die momentan zur Vermessung von optischen Phasenelementen im Größenbereich kleiner JCM3 eingesetzt werden, sind indirekter Natur (beispielsweise Messung der Beugungs-effizienz). Sie gewinnen globale Informationen über das (Fehl-)Verhalten des Elements, können aber die lokale Ursache einer möglichen Fehlfunktion nicht klären. Innerhalb des Projekts soll eine neuartige Methode zur ortsaufgelösten, hochgenauen und schnellen Messung dreidimensionaler Phasen- bzw. Brechungsindex-Verteilungen untersucht und implementiert werden. Die Methode kombiniert Prinzipien der tomografischen Interferometrie mit off-axis Mikroskopie, um eine hohe räumliche Auflösung zu erzielen. Dabei soll durch den Einsatz aktiv schaltbarer Flüssigkristall-elemente eine neue Anordnung realisiert werden, die sich außerdem durch hohe Robustheit und reduzierte Messzeit auszeichnet. Die Messmethode soll insbesondere am Beispiel diffraktiver Mikrooptiken und Wellenleiterstrukturen aus der optischen Nachrichtentechnik verifiziert werden.