Erforschung und Entwicklung eines hochauflösenden induktiven Messsystems

imersten Abschnitt des Fördervorhabens erfolgte die Erforschung, Entwicklung and dnnfilmtechnische Fertigung eines miniaturisierten, hochauflösenden, induktitiven Wegmesssystems auf Basis des inductosync®-Prinzips。bedem entwickelten micromesssystem wurde die Wegmessung weibem herkömmlichen Inductosyn®mittelels eines Mäanderspulenpaares realisiert。Zur Vergrößerung der Kopplung zwischen den microspulen wurden weichmagnetische flusssf<s:1> hungenintegrert。dziel bezgelich einer Systemteilung von kleiner 50 μm wurde erreicht, die prinzipielle Brauchbarkeit des Ansatzes wurde in sten experimental Untersuchungen veriziert。imzweiten Abschnitt des Fördervorhabens stehen sowhl die Weiterentwicklung des microsystems也auch der ansteuerelekonik zu einem Gesamtsystem mit iner Interpolationsgenauigkeit von weniger为0.1 μm woldergrund。微信号传感器，微信号传感器，微信号传感器，微信号传感器，微信号传感器，微信号传感器，微信号传感器Der Schwerpunkt贝姆Mikromesssensor liegt在马Der Verbesserung des传感器的军队ß,苏珥Minimierung Der变异des Luftspalts来机架Laufer。Die erfolt einterseits durch eine Änderung in der Zuordnung der zwei Sekundärspulen, dererseits durch Entwicklung eines kugelfhhngssystems。1 .我在德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国höchstauflösenden德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国。德国联邦技术物理研究所（PTB）：德国联邦技术物理研究所。研究方向：Leistungsfähigkeit方向：Auflösung；研究方向：Temperaturänderungen方向：Zuverlässigkeit方向：Messelektronik方向：verfahrgeswindigkeit方向：在此基础上，建立了基于数据分析的理论框架，建立了基于数据分析的理论框架，建立了基于数据分析的理论框架。

Im ersten Abschnitt des Fördervorhabens erfolgte die Erforschung, Entwicklung und dünnfilmtechnische Fertigung eines miniaturisierten, hochauflösenden, induktiven Wegmesssystems auf Basis des Inductosyn®-Prinzips. Bei dem entwickelten Mikromesssystem wurde die Wegmessung wie beim herkömmlichen Inductosyn® mittels eines Mäanderspulenpaares realisiert. Zur Vergrößerung der Kopplung zwischen den Mikrospulen wurden weichmagnetische Flussführungen integriert. Das Ziel bezüglich einer Systemteilung von kleiner 50 μm wurde erreicht, die prinzipielle Brauchbarkeit des Ansatzes wurde in ersten experimentellen Untersuchungen verifiziert. Im zweiten Abschnitt des Fördervorhabens stehen sowohl die Weiterentwicklung des Mikrosystems als auch der Ansteuerelektronik zu einem Gesamtsystem mit einer Interpolationsgenauigkeit von weniger als 0,1 μm im Vordergrund. Diese Interpolationsgenauigkeit macht das System zu einem Wegmesssensor, der in mikrotechnische Bauteile integriert zur Feinpositionierung sowie zur Positionsmessung von Mikrotischen, Mikroventilen und anderen Mikrobauteilen dienen soll. Der Schwerpunkt beim Mikromesssensor liegt in der Verbesserung des Sensors durch Maßnahmen zur Minimierung der Variation des Luftspalts zwischen Ständer und Läufer. Die erfolgt einerseits durch eine Änderung in der Zuordnung der zwei Sekundärspulen, andererseits durch Entwicklung eines Kugelführungssystems. Im Bereich der Messelektronik erfolgt eine Weiterführung der Arbeiten zur Entwicklung eines höchstauflösenden elektronischen Interpolators zur Auswertung der Maßstabssignale. Diese Aufgabe übernimmt wie im ersten Antragszeitraum im Rahmen eines Unterauftrags die Technisch-Physikalische Bundesanstalt (PTB). Zur Charakterisierung der Leistungsfähigkeit werden laterale Auflösung, Einfluss von Temperaturänderungen sowie Zuverlässigkeit der Messelektronik bei hoher Verfahrgeschwindigkeit untersucht. Ferner soll betrachtet werden, ob die zu entwickelnde Mikrokugelführung den Einfluss von Kippung und Abstandsänderung minimiert.