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Etching of Aluminum in Halogen-Containing Gasses and Plasmas
含卤素气体和等离子体中的铝蚀刻
基本信息
- 批准号：8319353
- 负责人：
- 金额：$ 20.47万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Continuing Grant
- 财政年份：1984
- 资助国家：美国
- 起止时间：1984-03-15 至 1987-08-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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会议论文数量（0）
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{{ truncateString('Dennis Hess', 18)}}的其他基金
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24K17530 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 20.47万 - 项目类别：
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23H03665 - 财政年份：2023
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2243914 - 财政年份：2023
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$ 20.47万 - 项目类别：
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- 批准号：
2403874 - 财政年份：2023
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稳定和亚稳定镓铝氧化物多晶型物的外延膜生长和表征
- 批准号：
2324375 - 财政年份：2023
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