Silicon Flat Panel Displays

硅平板显示器

• 批准号: 9161265
• 负责人: Fereydoon Namavar
• 金额: $ 5万
• 依托单位: Spire Corporation
• 依托单位国家: 美国
• 项目类别: Standard Grant
• 财政年份: 1992
• 资助国家: 美国
• 起止时间: 1992-01-15 至 1992-09-30
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9161265&HistoricalAwards=false
• 关键词: Silicon; Flat; Panel; Displays

Spire recently demonstrated bright visible light emission from Silicon quantum wires. Silicon substrates were electrochemically etched to produce a porous surface with nanometer size Si columns (quantum wires). When excited with a blue laser beam, or UV light (photoluminescence), or when immersed in an H2O:NaC1 electrolyte under an electric field, the treated samples emitted very bright red light. Moreover, we demonstrated that it is possible to tailor the emission spectrum by anodizing Si-based alloys such as Si1-xGex or ion implanted Si (e.g., Er+-implanted Si). If strong electroluminescence (EL) can be demonstrated in this material then the driver electronics and light- emitting elements of a flat panel display can be integrated into the same Si substrate. This development would result in significant reduction of display panel fabrication steps and cost. We believe that these recent findings, combined with mature Si electronics technology, offer a rare opportunity for a major advance in commercial flat-panel display technology. We propose a program to investigate fabrication of monochrome or multi- color Si flat-panel displays. In Phase I, we will optimize processing of Si quantum wires and study electroluminescent behavior. Individual test structures will be fabricated and EL performance demonstrated. In Phase II, we will fabricate multi-pixel monochrome Si EL displays and explore fabrication of multi-color Si EL displays.

Spire最近展示了明亮的 硅的可见光发射 量子线 硅衬底 被电化学蚀刻， 产生多孔表面， 纳米尺寸的Si柱（量子 wires）。 当一个蓝色的兴奋 激光束或紫外线 （光致发光），或当 浸入H2O：NaCl电解质中 在电场下， 处理过的样品发出非常明亮的光 红灯 而且我们 证明了有可能 通过以下方式调整发射光谱 阳极氧化硅基合金， Si 1-xGex或离子注入Si（例如， Er+注入Si）。 如果强大 电致发光（EL）可以是 在这份材料中展示， 驱动器电子设备和光- 平板的发射元件 显示器可以集成到 相同的Si衬底。 这 发展将导致 显着减少显示 面板制造步骤和成本。 我们认为，这些最近 结果，结合成熟的Si 电子技术，提供一个 专业难得的机会 商用平板显示器的发展 显示技术 我们提出了一个计划， 单色或多色的制作， 彩色硅平板显示器。 在 第一阶段，我们将优化 Si量子线的加工， 研究电致发光行为。 单个测试结构将 制造和EL性能 演示。 在第二阶段，我们将 制作多像素单色硅 电致发光显示器及其制造工艺探索 多色Si EL显示器。