Innovative Methoden der Nanodotierung

纳米掺杂的创新方法

• 批准号: 102439573
• 负责人: Professorin Dr. Margit Zacharias
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Reinhart Koselleck Projects
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2013-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/102439573?language=en
• 关键词: Innovative; Methoden; der; Nanodotierung

Eine der größten Herausforderungen bei der Realisierung von Nanobauelementen ist die kontrollierte Dotierung mit atomarer Positions- und Profilkontrolle. Bisherige Prozesse wurden für Volumenmaterialien entwickelt und sind für Nanobauelemente wenig anwendbar. Bisher gibt es keine verlässliche Strategie, wie man Nanostrukturen kontrolliert dotieren kann. Aber auch der Nachweis einer erfolgreichen Dotierung trifft an die Grenzen der Untersuchbarkeit und ist vielfach nur indirekt möglich.In dem vorgeschlagenen Projekt sollen deshalb innovative, verallgemeinerungsfähige Strategien zur Dotierung von niederdimensionalen Halbleiterstrukturen (0-D, 1-D) entwickelt, erprobt und in ihren Eigenschaften untersucht werden. Dies könnte z.B. mit selbst limitierenden, chemischen Oberflächenreaktionen erreicht werden unter Verwendung von homogenen den Dotierstoff enthaltenden Molekülmonolagen. Aber auch die Anwendung von neuen Abscheideverfahren wie die Atomlagenabscheidung (ALD) mit neu zu entwickelnden Precursoren und Monolagenabscheidungen könnte in Frage kommen. Ziel des Projektes ist die lokale, deterministische Positionierung der Dotieratome auf selektierten Oberflächenbereichen. Methoden der Aktivierung und Entwicklung von Dotierungen mit Nanometerprofilen sind zu lösen. Diese Nanodotierung ist nicht einmal in Ansätzen gelöst. Als Modellsysteme werden Si Nanokristalle und ZnO Nanodrähte verwendet; weitere Materialien werden im Projektverlauf in die Untersuchungen einbezogen.

一个由纳米元件实现的大Herausforderungen是一个带有原子位置和轮廓控制的控制器。Bisherige Prozesse wurden für Volumenmaterialien entwickelt und sind für Nanobauelemente wenig anwendbar.比舍尔没有任何错误的解释，就像纳米结构的控制一样。然而，Nachweis einer erfolgreichen Dotierung trifft an die Grenzen der Untersuchbarkeit und ist vielfach努尔indirekt möglich.In dem vorgeschlagenen Projekt sollen deshalb innovative，verallgemeinerungsfähige zur Dotierung von niederdimensionalen Halbleiterstrukturen（0-D，1-D）entwickelt，erprobt and in ihren Eigenschaften untersucht韦尔登. Dies könnte z.B.由于自身的局限性，化学上的反应韦尔登在均质的多蒂耶尔斯托夫聚合物单体上进行。但是，新的Abscheideverfahren的Anwendung也与原子能（ALD）一样，它具有新的前体和单原子能。Ziel des Projektes ist die lokale，deterministische Positionierung der Dotieratome auf selektierten Oberflächenbereichen.使用纳米轮廓的Dotierungen的激活和开发方法非常重要。这个纳米技术并不是一个简单的方法。所有的模型系统都是韦尔登纳米晶和氧化锌纳米晶，而其他材料韦尔登纳米晶则是在项目中进行研究。