Hochleistungs-Sputtering Anlage mit Zubehör

“Das Hauptgerät (HPPMS Reaktor) wid im bewilligliteilprojekt A5 (HPPMS Plasmen: ts- and zeitaufgelöste Charakterisierung) des Transregio-SFB 87”Gepulste Hochleistungsplasmen zur syns -these nanostruckturiterfunktionsschichten”eingesetzt。2 . die zentrale Forschungsapparatur dar和ist fbr die forschungssarbeen unverzichtbar。在Rahmen des TR87中，Die Anlage是隐含的。Vergleichbare Geräte既存在又存在Ruhr-Universität night。Ein Teilgerät (Präparationsteil) dient zusätzlich zu den präparativen Arbeiten f<e:1> r das o.g Projekt auch der Herstellung von microplasplasma - arrays f<e:1> r das Teilprojekt A1（在kHz和MHz频率下激发的微放电的激发和反应动力学的光谱研究）der Forschergruppe FOR 1123“微等离子体物理学”。塞纳河verf<s:1> gbarkeit ist f<e:1> r den Fortsetzungsantrag der FOR1123 von Bedeutung。Das Zubehörteil（密集ccd相机）客户端der ert<s:1> chtigung eines vorhandenen hochauflösen-den光谱仪<e:1> r die Untersuchung von HPPMS Plasmen。”

„Das Hauptgerät (HPPMS Reaktor) wird im bewilligten Teilprojekt A5 (HPPMS Plasmen: Orts- und zeitaufgelöste Charakterisierung) des Transregio-SFB 87 „Gepulste Hochleistungsplasmen zur Syn-these nanostrukturierter Funktionsschichten" eingesetzt. Es stellt die zentrale Forschungsapparatur dar und ist für die Forschungsarbeiten unverzichtbar. Die Anlage ist implizit im Rahmen des TR87 mit begutachtet worden. Vergleichbare Geräte existieren an der Ruhr-Universität nicht. Ein Teilgerät (Präparationsteil) dient zusätzlich zu den präparativen Arbeiten für das o.g. Projekt auch der Herstellung von Mikroplasma-Arrays für das Teilprojekt A1 (Spectroscopic investigations of excitation and reaction dynamics of microdischarges excited at kHz and MHz frequencies) der Forschergruppe FOR 1123 „Physics of Microplasmas". Seine Verfügbarkeit ist für den Fortsetzungsantrag der FOR1123 von Bedeutung. Das Zubehörteil (intensivierte CCD-Kamera) dient der Ertüchtigung eines vorhandenen hochauflösen-den Spektrometers für die Untersuchung von HPPMS Plasmen.“