An Analysis of Anisotropic Etching Process and Prediction of Finished Profile
各向异性蚀刻工艺分析及成品轮廓预测
基本信息
- 批准号:63460084
- 负责人:
- 金额:$ 5.18万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- 财政年份:1988
- 资助国家:日本
- 起止时间:1988 至 1989
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Single crystalized pure silicon possesses very high mechanical properties which are equivalent to those of steels, nevertheless, it is not widely applied to the mechanical component because of its difficulty to machine precisely by cutting operation.On behalf of this, etching is often used in which anisotropic characteristic of single crystal is used. The orientation of faces to compose the shape of finished workpiece can be fundamentally decided by the anisotropic characteristic, however, the finished profile does not always coincide with that of mask, which limits the utilization of the process.This study makes the anisotropic etching mechanism clear through the experiments under a variety of conditions, and the relation between each etching condition with the process parameters is established empirically. Then, the computer simulation of the process is established based on these relations, by which it becomes possible to foresee the finished profile for any given mask now.
单晶纯硅具有与钢相当的高机械性能,但由于难以通过切削加工进行精密加工,因此在机械零件中的应用并不广泛。为此,常采用利用单晶各向异性特性的蚀刻法。各向异性特性从根本上决定了工件表面的取向,但工件表面的轮廓并不总是与掩模表面的轮廓一致,限制了工艺的应用。本研究通过各种条件下的实验,明确了各向异性刻蚀的机理,并从经验上建立了各向异性刻蚀条件与工艺参数之间的关系。然后,基于这些关系建立了该过程的计算机模拟,通过该计算机模拟,现在可以预见任何给定掩模的成品轮廓。
项目成果
期刊论文数量(20)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
古川勇二,横川宗彦ら: "異方性エッチングによる微細加工技術" 日本機械学会極限加工システムに関する研究成果報告書. 30-41 (1989)
Yuji Furukawa、Munehiko Yokokawa 等人:“使用各向异性蚀刻的微加工技术”日本机械工程师学会极限加工系统研究结果报告 30-41 (1989)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
古川勇二,横川宗彦ら: "異方性エッチング加工に関する研究-エッチングメカニズムの考察-" 1989年精密工学介秋季大会学術講演会講演論文集. 165-166 (1989)
Yuji Furukawa、Munehiko Yokokawa 等人:“各向异性蚀刻加工的研究 - 蚀刻机制的考虑 -” 1989 年秋季精密工程会议记录 165-166 (1989)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
古川勇二(予定): "異方性エッチングの発生機構に関する研究-衝突、拡散理論による反応メカニズム-" 1990年精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (1990)
古川雄二(计划):《各向异性蚀刻的生成机制研究——基于碰撞和扩散理论的反应机制——》1990年精密工程学会春季会议学术会议论文集(1990年)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
Yuji FURUKAWA and Munehiko YOKOGAWA: "The study on the anisotropic etching -Etching mechanism-" JSPE pre-print, pp165-166. (1989).
Yuji FURUKAWA 和 Munehiko YOKOGAWA:“各向异性蚀刻的研究 - 蚀刻机制 -” JSPE 预印本,第 165-166 页。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
Yuji FURUKAWA: "The study on the mechanism of anisotropic etching" JSPE pre-print, (1990).
Yuji FURUKAWA:“各向异性蚀刻机理的研究”JSPE 预印本,(1990)。
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