Development of Nano-phase Tomographic STEM

纳米相断层扫描STEM的发展

• 批准号: 18GS0211
• 负责人: IKUTA Takashi
• 金额: $ 294.86万
• 依托单位: Osaka Electro-Communication University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Creative Scientific Research
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18GS0211/
• 关键词: 走査型透過電子顕微鏡; 位相コントラスト; FE電子銃; Csコレクター; 電子顕微鏡; CT; ナノ材料; ナノデバイス; 位相CT

To realize nano-phase tomographic STEM, a novel amplitude/phase separation imaging technique with very long field of depth has been proposed. Four significant technical components, the magnetic field immersion type FE-electron gun, the compact aberration corrector, the annular objective stop and the annular detector array were studied and developed in the present study. We evaluated this new imaging technique by using a proto-type STEM newly developed in this project.

为了实现纳米位相层析成像，提出了一种新型的长视场幅相分离成像技术。研究开发了磁场浸没式FE电子枪、紧凑型像差校正器、环形物镜和环形探测器阵列四大关键技术部件。我们使用本项目中新开发的原型STEM对这一新的成像技术进行了评估。

项目成果

「走査電子顕微鏡のための新しい収差補正法」小粥啓子, 田屋昌樹, 松谷貴臣, 生田孝, 田中武雄, 高井義造

《扫描电子显微镜像差校正新方法》Keiko Kogayu、Masaki Taya、Takaomi Matsutani、Takashi Ikuta、Takeo Tanaka、Yoshizo Takai

• 发表时间: 2008
• 期刊: 金属 Vol.78
• 作者: K.Yoshizawa;N.Kihara;T.Kamachi;Y.Shiota;小粥啓子
• 通讯作者: 小粥啓子

´Aberration Analysis of Cs-corrector System with Twin Hexapoles and Transfer Lens Doublet in Scanning Transmission Electron Microscope by Simple Ray Tracing Based on Geometrical Optics,´Tadahiro Kawasaki, Mikio Ichihashi, Takaomi Matsutani, Yoshihide Kimu

“通过基于几何光学的简单射线追踪对扫描透射电子显微镜中双六极杆和传输透镜双合透镜的 Cs 校正器系统进行像差分析，”Tadahiro Kawasaki、Mikio Ichihashi、Takaomi Matsutani、Yoshihide Kimu

• 发表时间: 2007
• 期刊: Proc. of International Symposium on Eco Topia Science Vol.1
• 作者: Y.Nakano;M.Takahashi;M.Sakata;H.Yamochi;G.Saito;K.Tanaka;Tadahiro Kawasaki
• 通讯作者: Tadahiro Kawasaki

´Interpretation of Cs-corrector System with Twin Hexapoles and Transfer Doublet based on Geometrical Optics Theory,´Tadahiro Kawasaki, Mikio Ichihashi, Taisuke Nakamura, Takeshi Kawasaki, Takaomi Matsutani, Yoshihide Kimura and Takashi Ikuta

“基于几何光学理论的双六极子和传递双合透镜的 Cs 校正器系统的解释”Tadahiro Kawasaki、Mikio Ichihashi、Taisuke Nakamura、Takeshi Kawasaki、Takaomi Matsutani、Yoshihide Kimura 和 Takashi Ikuta

• 发表时间: 2007
• 作者: Mi-ichi;F.;Yousuf;M. A.;Nakada-Tsukui;K. and Nozaki T;Tadahiro kawasaki
• 通讯作者: Tadahiro kawasaki

´Restoration of Phase and Amplitude Components using Dynamic Follow-cone Illumination in Transmission Electron Microscopy,´H. Yoshimori, Masaki Taya, Takashi Ikuta, and Yoshizo Takai

“在透射电子显微镜中使用动态跟随锥体照明恢复相位和幅度分量”，H. Yoshimori、Masaki Taya、Takashi Ikuta 和 Yoshizo Takai

• 发表时间: 2007
• 作者: K. R. Mavani;M. Nagai;D. S. Rana;H. Yada;I. Kawayama;M. Tonouchi;K. Tanaka;H. Yoshimori
• 通讯作者: H. Yoshimori

´Phase Imaging Microscopy with Increased Depth of Focus by TEM and STEM (Invited),´Takashi Ikuta and Mikio Ichihashi

“通过 TEM 和 STEM 增加焦深的相位成像显微镜（特邀）”，Takashi Ikuta 和 Mikio Ichihashi

• 发表时间: 2007
• 作者: Kawade K;Horiguchi G and Tsukaya H;巽和行;Takashi Ikuta
• 通讯作者: Takashi Ikuta