超高密度集成电路正向型材料抗蚀机理研究-猫眼课题宝

超高密度集成电路正向型材料抗蚀机理研究

批准号：

03650637

负责人：

市川恒樹

金额：

$0.83万

依托单位：

Hokkaido University

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)

财政年份：

1991

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

1991 至 --

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-03650637/

关键词：

ポリメチルメタクリレ-トレジスト主鎖切断 ERS ラジカル電子スピンエコ-ベ-タ開裂

项目摘要

项目成果

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英文摘要

超高密度集積回路用ポジ型放射線レジストとして使用されるポリメチルメタクリレ-ト(PMMA)を放射線照射し、生じるラジカル種をパルスERSによって同定・定量したところ、以下の事実が明らかになった。(1)放射線照射によってPMMA中に生じる一次ラジカルは、主鎖から水素の取れた2級アルキルラジカル,および側鎖のエステル基のメチル基から水素の取れた側鎖ラジカルの2種類である。(2)主鎖ラジカルは室湿でほぼ安定であるが、側鎖ラジカルは側鎖脱離によって主鎖3組アルキルラジカルに変化し、さらにこれがβ切断によって主鎖切断を経て主鎖末端ラジカルになる。また断切の一方は二重結合によって安定化する。(3)PMMAがボジ型レジストとなるのは、4級炭素と2級炭素が交互に配列した主鎖となっているため、側鎖ラジカルから変じた主鎖3級ラジカルがβ切断を生じ易いためである。他のポリマ-でもこのような主鎖構造をもてばポジ型(分解型)レデストとなる。

期刊论文(1)

专著(0)

科研奖励(0)

会议论文

Tsuneki Ichikawa: "Effect of Substituted Methyl Group on the MainーChain Scission of Alkyl Radical in Solid" Radiat.Phys.Chem.(1992)

Tsuneki Ichikawa：“取代甲基对固体中烷基自由基主链断裂的影响”Radiat.Phys.Chem.(1992)

DOI： --

发表时间：

期刊：

影响因子： --

作者：

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