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Trial Study of Ultra-Precision Magnetic Bearing

Trial Study of Ultra-Precision Magnetic Bearing
超精密磁力轴承的试验研究
批准号：
07555051
负责人：
SHIMOKOHBE Akira
金额：
$10.11万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
1995
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1995 至 1996
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07555051/
关键词：
Magnetic BearingOptimal ControlRepetitive ControlProfile ErrorRotational AccuracyPositioning Accuracy静電容量型変位計モデルの同定

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Magnetic bearings are not accurate enough for precision equipment. In this study, first, a two-degree-of-freedom magnetic bearing with an optimal state feedback controller is introduced Eddy current displacement sensors and capacitance micrometer are used as feedback sensors. The positioning accuracy is 15nm when the axis does not rotate. Then, to improve the rotational accuracy, a repetitive controller is added to the bearing. The rotational error with the optimal and repetitive controllers is 250nm at 120rpm which is caused by the profile error of the axis and by the arrangement of the sensors and electromagnets.
期刊论文(1)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
下河辺 明 ほか: "高精度磁気軸受の研究-回転精度について-" 日本機械学会第74期通常総会講演会講演論文集. (発表予定). (1997)
Akira Shimokawabe 等：“高精度磁力轴承的研究 - 关于旋转精度 -”日本机械工程学会第 74 届普通大会论文集（待提交）（1997 年）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Research on thin film metallic glasses as MEMS material and those three dimensional fabrication methods
  • 批准号：
    15206015
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $32.03万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    SHIMOKOHBE Akira
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
Research of sub-nano motion mechanism
  • 批准号：
    13450054
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $9.41万
  • 财政年份：
    2001
  • 负责人：
    SHIMOKOHBE Akira
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
Three dimensional micro forming of thin film metallic glass cantilevers and its application for micro probes
  • 批准号：
    12355007
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $28.74万
  • 财政年份：
    2000
  • 负责人：
    SHIMOKOHBE Akira
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
Dynamics and Control of Nano-Motion Mechanisms
  • 批准号：
    10305013
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A).
  • 资助金额：
    $24.19万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    SHIMOKOHBE Akira
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
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