权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

Ring Laser Gyroscopes by MEMS Technology

采用 MEMS 技术的环形激光陀螺仪

基本信息

批准号：
15310107
负责人：
MAENAKA Kazusuke
金额：
$ 7.68万
依托单位：
University of Hyogo (2004-2005)Himeji Institute of Technology (2003)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2003
资助国家：
日本
起止时间：
2003 至 2005
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15310107/
关键词：
Ring Laser Gyroscope MEMS Mirror Anisotropic etching Electroplating Photo sensitive resin lens prism ジャイロ角速度センサ RLG 周回光路 (111)面マイクロレンズレーザ SU-8

项目摘要

In this research project, we have established basic technologies for MEMS-based Ring Laser Gyroscope (MEMS RLG). At first, we newly suggested an optical closed-loop by (111) mirror which results from wet anisotropic etching of single crystalline silicon-wafer with (110) surface orientation. The optimum etching condition, effect of miss-alignment, etc. were investigated and we found that the (111) mirror have sufficient quality for an optical mirror at the optimum conditions. Other required optical elements such as lenses and prisms were realized by photo-sensitive epoxy resin and their optical characteristics were examined and confirmed that they are useful for optical-devices. Moreover, alignment and clumping structures for laser diode chip were also constructed by this resin. Then, we combine the mirror fabrication-process and epoxy-resin based process in batch manner, which enables mass production and low cost. In order to improve reflectance of the mirror, we developed direct gold-electroplating technique for silicon surface. This technique eliminates the complicated process to deposit a metal film to the each mirrors by sputtering or evaporation. Many numbers of techniques mentioned above are very useful not only for MEMS RLG but for many devices in optical MEMS field. Now, we have a plan of collaboration with some industries to develop the MEMS RLG which can be put on the market.

在本研究计划中，我们建立了基于MEMS的环形激光陀螺（MEMS RLG）的基础技术。首先，我们提出了一种由（111）面镜构成的光学闭环，它是由（110）面取向的单晶硅片的湿法各向异性腐蚀产生的。研究了最佳腐蚀条件、失调效应等，发现在最佳条件下，（111）面镜具有足够的光学反射镜质量。其他所需的光学元件，如透镜和棱镜，实现了光敏环氧树脂和他们的光学特性进行了检查，并确认它们是有用的光学器件。此外，该树脂还用于半导体激光器芯片的对准和聚结结构。然后，我们将反射镜制造工艺和基于环氧树脂的工艺以批量方式相结合，从而实现大规模生产和低成本。为了提高反射镜的反射率，我们开发了硅表面直接镀金技术。该技术消除了通过溅射或蒸发将金属膜存款到每个反射镜的复杂工艺。上述许多技术不仅对MEMS激光陀螺非常有用，而且对光学MEMS领域的许多器件也非常有用。现在，我们计划与一些行业合作，开发可以投放市场的MEMS RLG。

项目成果

期刊论文数量（14）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

マイクロミラー設計に向けた厚膜フォトレジストSU-8の粘弾性特性評価

用于微镜设计的厚膜光刻胶 SU-8 的粘弹性特性评估

DOI：
发表时间：
2004
期刊：
電気学会研究会資料 MSS-05-3
影响因子：
0
作者：
Y.Mizugaki;H.Shimada;T.Fujita;T.Fujita et al.;T.Namazu;T.Namazu et al.;瀧尾健一
通讯作者：
瀧尾健一

Improvement of Etched Surface of Silicon (110) Plane Using anIodine-supersaturated KOH Etchant

使用碘过饱和KOH蚀刻剂改善硅(110)面的蚀刻表面

DOI：
发表时间：
2003
期刊：
Micronanoelectronic Technology Vol.40,No.6
影响因子：
0
作者：
Y.Mizugaki;H.Shimada;T.Fujita;T.Fujita et al.;T.Namazu;T.Namazu et al.;瀧尾健一;K.Takio et al.;Y.Jing
通讯作者：
Y.Jing

A Selective Gold Electroplating Directly on Silicon Surface and Its Application

硅表面选择性直接电镀金及其应用

DOI：
发表时间：
2003
期刊：
Papers on Technical Meeting, IEEJ (in Japanese) PHS-03-17
影响因子：
0
作者：
Y.Mizugaki;H.Shimada;T.Fujita;T.Fujita et al.;T.Namazu;T.Namazu et al.;瀧尾健一;K.Takio et al.;Y.Jing;Y.Jing;Yupeng Jing;中道傑;Y.Jing et al.;Y.Jing et al.;Yupeng Jing et al.;S.Nakamichi et al.
通讯作者：
S.Nakamichi et al.

Selective and Direct Gold Electroplating on Silicon Surface for MEMS Applications

用于 MEMS 应用的硅表面选择性直接镀金

DOI：
发表时间：
2006
期刊：
Tech.Dig.of the 19th IEEE Int.Conf, on Microelectromechanical Systems
影响因子：
0
作者：
Y.Mizugaki;H.Shimada;T.Fujita
通讯作者：
T.Fujita

Evaluation of Visco-Elastic Properties for Micron-Thich SU-8 Polymers towards Reliable Design of MEMS Optical Mirror

评估微米厚 SU-8 聚合物的粘弹性，以实现 MEMS 光学镜的可靠设计

DOI：
发表时间：
2004
期刊：
Papers on Technical Meeting, IEEJ (in Japanese) MSS-05-3
影响因子：
0
作者：
Y.Mizugaki;H.Shimada;T.Fujita;T.Fujita et al.;T.Namazu;T.Namazu et al.;瀧尾健一;K.Takio et al.
通讯作者：
K.Takio et al.