Fabrication Process Improvement of Multi-channel Optical MEMS Switch Using a Belt-shaped Thin Film Mirror

使用带状薄膜镜的多通道光学MEMS开关的制造工艺改进

基本信息

  • 批准号:
    20560233
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2008
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2008 至 2010
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

This paper describes fabrication process improvement of a multi-channel optical MEMS switch using a belt-shaped thin film mirror. This switch has advantages of simple structure and no wear. However its suitable fabrication process is not clarified yet and the prototype switches were manually assembled. In this paper, the suitable fabrication process was discussed and the effects of the fabrication process improvement on the switching accuracy and the driving voltage were examined. The optical switch made through the improved fabrication process controlled the spot position more accurately than the previous switches. In addition, the minimum driving voltage of the switch reduced. These experimental results quicken the realization of the multi-channel optical MEMS switch using a belt-shaped thin film mirror.
介绍了一种采用带状薄膜反射镜的多通道MEMS光开关的制作工艺改进。该开关具有结构简单、无磨损等优点。然而,其合适的制造工艺尚未澄清,原型开关是手工组装的。本文讨论了合适的制作工艺,并研究了工艺改进对开关精度和驱动电压的影响。通过改进的制造工艺制成的光开关比以前的开关更精确地控制光斑位置。此外,开关的最小驱动电压降低。这些实验结果加快了利用带状薄膜反射镜实现多通道光MEMS开关的速度。

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

OKUTSU Kazutoshi其他文献

OKUTSU Kazutoshi的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

相似国自然基金

基于ScAlN薄膜的高灵敏度压电MEMS超声 相控阵研究
  • 批准号:
  • 批准年份:
    2025
  • 资助金额:
    10.0 万元
  • 项目类别:
    省市级项目
面向复杂应用场景的MEMS传感器及智能处理芯片模组研发及应用
  • 批准号:
  • 批准年份:
    2025
  • 资助金额:
    0.0 万元
  • 项目类别:
    省市级项目
柔性薄膜上微悬桥技术及超高灵敏电化学阻抗型MEMS流量传感器研究
  • 批准号:
    n/a
  • 批准年份:
    2022
  • 资助金额:
    10.0 万元
  • 项目类别:
    省市级项目
基于MEMS超表面微镜阵列的微型高光谱成像仪研究
  • 批准号:
    n/a
  • 批准年份:
    2022
  • 资助金额:
    0.0 万元
  • 项目类别:
    省市级项目
基于MEMS压电薄膜超声面阵的多孔径四维心室血流场成像方法的研究
  • 批准号:
    62171442
  • 批准年份:
    2021
  • 资助金额:
    60 万元
  • 项目类别:
    面上项目
新型非晶碳基薄膜压阻材料与MEMS器件关键技术
  • 批准号:
    U20A20296
  • 批准年份:
    2020
  • 资助金额:
    260 万元
  • 项目类别:
    联合基金项目
面向产业化MEMS传感器的表面微加工多层薄膜热学参数在线测试方法研究
  • 批准号:
    62004061
  • 批准年份:
    2020
  • 资助金额:
    24.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
基于锰铜薄膜的新型MEMS切削力传感器研究
  • 批准号:
    51705408
  • 批准年份:
    2017
  • 资助金额:
    25.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
基于扭转闪耀光栅的波长型光纤MEMS高灵敏度磁传感器研究
  • 批准号:
    61601447
  • 批准年份:
    2016
  • 资助金额:
    21.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
应用于RF MEMS开关的新型减振合金薄膜材料中孪晶行为的研究
  • 批准号:
    51205223
  • 批准年份:
    2012
  • 资助金额:
    25.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目

相似海外基金

圧電/磁性体薄膜の融合による広帯域MEMS振動発電素子
压电/磁性薄膜融合宽带MEMS振动发电装置
  • 批准号:
    23K20252
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 3万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Piezoelectric/Ferromagnetic thin-film integration for wide-band MEMS energy harvesting devices
用于宽带 MEMS 能量收集设备的压电/铁磁薄膜集成
  • 批准号:
    20H02120
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 3万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Creation of Giant Piezoelectric Transducer Thin Film with High Curie Point and Breaking Performance Limit of Piezoelectric MEMS
创造巨型高居里点压电换能器薄膜并突破压电MEMS性能极限
  • 批准号:
    19K05231
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 3万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
High-efficiency electromagnetic energy harvester by using MEMS structure with NdFeB thin film.
采用NdFeB薄膜MEMS结构的高效电磁能量收集器。
  • 批准号:
    16K06308
  • 财政年份:
    2016
  • 资助金额:
    $ 3万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
MEMS plasmonic tunable color sheet by electrostatic actuator using stretchable thin film
使用可拉伸薄膜的静电致动器的 MEMS 等离子体可调谐颜色片
  • 批准号:
    15K13322
  • 财政年份:
    2015
  • 资助金额:
    $ 3万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS
Si基片上理想取向PZT单晶薄膜的沉积及其应用于MEMS的可行性研究
  • 批准号:
    25286033
  • 财政年份:
    2013
  • 资助金额:
    $ 3万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Piezoelectric thin film MEMS with giant shear electromechanical coupling
具有大剪切机电耦合的压电薄膜 MEMS
  • 批准号:
    24760075
  • 财政年份:
    2012
  • 资助金额:
    $ 3万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
ULSI/MEMS対応マルチスケール薄膜堆積技術の構築
建立与ULSI/MEMS兼容的多尺度薄膜沉积技术
  • 批准号:
    23860016
  • 财政年份:
    2011
  • 资助金额:
    $ 3万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
SBIR Phase I: MEMS-Based System for Particulate Matter Pollution Monitoring Using Thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators (FBARs)
SBIR 第一阶段:基于 MEMS 的颗粒物污染监测系统,使用薄膜体声波谐振器 (FBAR)
  • 批准号:
    0839783
  • 财政年份:
    2009
  • 资助金额:
    $ 3万
  • 项目类别:
    Standard Grant
Development of a Novel Punch Method to Characterize Thin Film Adhesion: Applications in Life-Sciences and MicroElectroMechanical Systems (MEMS)
开发一种表征薄膜粘附力的新型冲压方法:在生命科学和微机电系统 (MEMS) 中的应用
  • 批准号:
    0757138
  • 财政年份:
    2007
  • 资助金额:
    $ 3万
  • 项目类别:
    Standard Grant
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了