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Elucidation of Molecular Dynamicsand Reaction Mechanism of ResistMaterials for the Control of Nanosize-roughness

Elucidation of Molecular Dynamicsand Reaction Mechanism of ResistMaterials for the Control of Nanosize-roughness
阐明用于控制纳米尺寸粗糙度的抗蚀剂材料的分子动力学和反应机制
批准号：
19710095
负责人：
OKAMOTO Kazumasa
金额：
$1.77万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19710095/
关键词：
リソグラフィレジスト電子線パルスラジオリシス芳香族分子分子軌道計算ポリスチレン

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项目成果

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半導体加工用に用いられている化学増幅型レジストは、露光源の発展に伴いその最小加工寸法が縮小している。将来の更なる加工寸法の縮小に向けて、放射線を露光源とすることが想定されているが、極微細加工用レジスト材料におけるゆらぎ(ラフネス)の低減は深刻な問題となっている。ラフネスをナノサイズに低減するために、レジスト中にイオン化後生成する、中間活性種の分子レベルのダイナミクスと反応機構を明らかにすることを目的とした。
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会议论文
Dynamics of PHS Radical Cation
PHS自由基阳离子动力学
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [Kasumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa]
通讯作者： Seiichi Tagawa
Pulse radiolysis of polystyrene and derivatives
聚苯乙烯及其衍生物的脉冲辐射分解
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Okamoto, M. Tanaka, T. Kozawa, S. Seki, S. Tagawa]
通讯作者： S. Tagawa
Dynamics of Radical Cations of Resist Model Compounds
抗蚀剂模型化合物的自由基阳离子动力学
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Okamoto, M. Tanaka, T. Kozawa, S. Tagawa]
通讯作者： S. Tagawa
Study on dynamics of radical ions of polystyrenes by pulse radiolysis
脉冲辐解聚苯乙烯自由基离子动力学研究
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Okamoto, M. Tanaka, S. Seki, T. Kozawa, S. Tagawa]
通讯作者： S. Tagawa
共 12 条
    Elucidation of local ionization in ultra-thin polymer films and its application
    • 批准号：
      24561037
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.16万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      OKAMOTO Kazumasa
    • 依托单位：
      Hokkaido University
    Elucidation of Ionization Dynamics of Polymers for Nanofabrication by Using Quantum Beam
    • 批准号：
      22760669
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.66万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      OKAMOTO Kazumasa
    • 依托单位：
      Hokkaido University
    海外基金