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Interface structures and bonding strength between metallic glass thin films and substrates towards MEMS applications.

Interface structures and bonding strength between metallic glass thin films and substrates towards MEMS applications.
面向 MEMS 应用的金属玻璃薄膜和基板之间的界面结构和结合强度。
批准号：
22760552
负责人：
LIU Yanhui
金额：
$2.66万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2010
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2010 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22760552/
关键词：
金属ガラス薄膜MEMS

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
在资金支持下，找出了影响金属玻璃薄膜生长和键合的工艺参数，对MEMS器件的制备和金属玻璃薄膜的加工有很大的帮助。采用纳米压痕技术对薄膜的力学性能进行了表征。利用原子力显微镜观察到金属玻璃在~2.5 nm尺度上是不均匀的，这与许多玻璃模型和理论是一致的。
英文摘要
With the financial support, the parameters that affect the growth and bonding film are found, which are very helpful for the fabrication of MEMS devices and processing of the metallic glass films. The mechanical properties of the films are characterized by using nanoindentation. By employing the atomic force microscopy, the metallic glass is revealed to be inhomogeneous on scale of ~ 2. 5 nm, which is consistent with many glass models and theories.
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会议论文
Characterization of Nanoscale Mechanical Heterogeneity in a Metallic Glass by Dynamic Force Microscopy
DOI： 10.1103/physrevlett.106.125504
发表时间： 2011-03-23
期刊： PHYSICAL REVIEW LETTERS
影响因子： 8.6
作者： [Liu, Y. H., Wang, D., Chen, M. W.]
通讯作者： Chen, M. W.
Experimental Characterization of Nanoscale Mechanical Heterogeneity in a Metallic Glass by Dynamic Force Microscopy
通过动态力显微镜对金属玻璃中纳米级机械异质性进行实验表征
DOI： --
发表时间： 2011
期刊： Phys. Rev. Lett.
影响因子： --
作者： [Y. H. Liu, D. Wang, K. Nakajima, W. Zhang, A. Hirata, T. Nishi, A. Inoue, M. W. Chen]
通讯作者： M. W. Chen
Deposition of multicomponent metallic glass films by single-target magnetron sputtering
DOI： 10.1016/j.intermet.2011.10.007
发表时间： 2012-02-01
期刊： INTERMETALLICS
影响因子： 4.4
作者： [Liu, Y. H., Fujita, T., Chen, M. W.]
通讯作者： Chen, M. W.
国内基金
海外基金
掺钪氮化铝薄膜压电MEMS水声传感器关键技术研究
  • 批准号：
    JCZRMS202601290
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
  • 依托单位：
    武汉大学
基于ScAlN薄膜的高灵敏度压电MEMS超声 相控阵研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    刘文娟
  • 依托单位：
    武汉大学深圳研究院
面向复杂应用场景的MEMS传感器及智能处理芯片模组研发及应用
柔性薄膜上微悬桥技术及超高灵敏电化学阻抗型MEMS流量传感器研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2022
  • 负责人：
    许威
  • 依托单位：
    深圳大学