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Herstellung und Charakterisierung von amorphen (SiC)1-x(AlN)x:H-Filmen mittels DC-Magnetronzerstäubung und gepulster Laserabscheidung
采用直流磁控溅射和脉冲激光沉积非晶 (SiC)1-x(AlN)x:H 薄膜的制备和表征
基本信息
- 批准号：5440935
- 负责人：
- 金额：--
- 依托单位：
- 依托单位国家：德国
- 项目类别：Research Grants
- 财政年份：2005
- 资助国家：德国
- 起止时间：2004-12-31 至 2009-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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