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In-situ temperature measurements and impurity profile control on SiC surface during wet chemical laser doping

湿化学激光掺杂过程中 SiC 表面的原位温度测量和杂质分布控制

基本信息

批准号：
17K06387
负责人：
Ikeda Akihiro
金额：
$ 3.08万
依托单位：
Sojo University (2018-2019)Kyushu University (2017)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
起止时间：
2017-04-01 至 2020-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

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会议论文数量（0）

专利数量（0）

Laser doping for 4H-SiC power-device fabrication with laser pulse-duration controller

使用激光脉冲持续时间控制器进行 4H-SiC 功率器件制造的激光掺杂

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
T. Kikuchi;K. Imokawa;A. Ikeda;D. Nakamura;T. Asano;H. Ikenoue
通讯作者：
H. Ikenoue

Increasing Laser-Doping Depth of Al in 4H-SiC by Using Expanded-Pulse Excimer Laser

使用扩展脉冲准分子激光器增加 4H-SiC 中 Al 的激光掺杂深度

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
Materials Science Forum
影响因子：
0
作者：
Akihiro Ikeda;Takashi Shimokawa;Hiroshi Ikenoue;Tanemasa Asano
通讯作者：
Tanemasa Asano

Improved doping performance of laser Al doping in 4H-SiC by substrate heating

通过衬底加热改善 4H-SiC 激光 Al 掺杂的掺杂性能

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
堀匡寛,小野行徳;A. Ikeda
通讯作者：
A. Ikeda

Formation of low resistance contacts to p-type 4H-SiC using laser doping with an Al thin-film dopant source

使用铝薄膜掺杂剂源进行激光掺杂，形成 p 型 4H-SiC 的低电阻触点

DOI：
10.7567/1347-4065/ab12c3
发表时间：
2019
期刊：
Japanese Journal of Appied Physics
影响因子：
0
作者：
K. Okamoto;T. Kikuchi;A. Ikeda;H. Ikenoue;T. Asano
通讯作者：
T. Asano

Increased doping depth of Al in wet-chemical laser doping of 4H-SiC by expanding laser pulse

DOI：
10.1016/j.mssp.2016.11.036
发表时间：
2017-11
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
影响因子：
4.1
作者：
A. Ikeda;Daichi Marui;R. Sumina;H. Ikenoue;T. Asano
通讯作者：
A. Ikeda;Daichi Marui;R. Sumina;H. Ikenoue;T. Asano

DOI：
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作者：
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通讯作者：
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作者：
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10.1051/e3sconf/20186201007
发表时间：
2018
期刊：
E3S Web of Conferences
影响因子：
0
作者：
Fujimoto Akiko;Yoshikawa Akimasa;Ikeda Akihiro
通讯作者：
Ikeda Akihiro

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DOI：
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
0
作者：
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通讯作者：
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DOI：
10.1051/e3sconf/20172001013
发表时间：
2017
期刊：
E3S Web of Conferences
影响因子：
0
作者：
Yoshikawa Akimasa;Fujimoto Akiko;Ikeda Akihiro;Uozumi Teiji;Abe Shuji
通讯作者：
Abe Shuji

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