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Orientation control of piezoelectric thin films and their application to functional micro-devices

Orientation control of piezoelectric thin films and their application to functional micro-devices
压电薄膜取向控制及其在功能微器件中的应用
批准号：
17H03207
负责人：
Isaku Kanno
金额：
$11.32万
依托单位：
Kobe University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2017-04-01 至 2021-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17H03207/
关键词：
圧電薄膜MEMSPZTKNNエピタキシャル結晶構造マイクロデバイスシンクロトロン放射光マイクロ・ナノデバイス

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发表时间： 2020
期刊：
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期刊：
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发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
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通讯作者： G. Tan and I. Kanno
共 31 条
    国内基金
    海外基金
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    • 批准号：
      JCZRMS202601290
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
    • 依托单位：
      武汉大学
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    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      10.0万元
    • 批准年份：
      2025
    • 负责人：
      刘文娟
    • 依托单位：
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    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      10.0万元
    • 批准年份：
      2022
    • 负责人：
      许威
    • 依托单位：
      深圳大学