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Microfabrication of RF-MEMS devices using synchrotron x-ray lithography

Microfabrication of RF-MEMS devices using synchrotron x-ray lithography
使用同步加速器 X 射线光刻技术微加工 RF-MEMS 器件
批准号：
216835-2007
负责人：
Klymyshyn, David
金额：
$1.44万
依托单位：
University of Saskatchewan
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2008
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2008-01-01 至 2009-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=393001
关键词：
MicrofabricationRFMEMSdevicesusing

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Radio frequency (RF) wireless systems are constantly being pushed to higher frequencies, while continuing trends towards ever smaller, more power efficient, and cheaper wireless devices are severely challenging traditional technologies. RF micro-electro-mechanical-systems (RF MEMS) devices can offer improved isolation, lower power dissipation, and reduced size and weight, and are poised to replace conventional devices and even enable new circuit architectures in future wireless applications.
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Wireless devices microfabricated in thick material layers
  • 批准号：
    RGPIN-2018-06318
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $4.81万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Klymyshyn, David
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
Wireless devices microfabricated in thick material layers
  • 批准号：
    RGPIN-2018-06318
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.4万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Klymyshyn, David
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
Wireless devices microfabricated in thick material layers
  • 批准号：
    RGPIN-2018-06318
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.4万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Klymyshyn, David
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
Wireless devices microfabricated in thick material layers
  • 批准号：
    RGPIN-2018-06318
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.4万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Klymyshyn, David
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
国内基金
海外基金
基于折纸结构的三维高性能纵向驱动RF MEMS器件设计理论与实验研究
  • 批准号：
    62174027
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    60万元
  • 批准年份：
    2021
  • 负责人：
    韩磊
  • 依托单位：
    东南大学
RF-MEMS开关动作时电磁特性分析的时域数值算法研究
  • 批准号：
    52107008
  • 项目类别：
    青年科学基金项目（C类）
  • 资助金额：
    30.0万元
  • 批准年份：
    2021
  • 负责人：
    邵景晖
  • 依托单位：
    西安交通大学
基于结构超滑的无冲击水平滑动式RF MEMS开关研究
  • 批准号：
    12002216
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    24.0万元
  • 批准年份：
    2020
  • 负责人：
    向小健
  • 依托单位：
    深圳清华大学研究院
基于典型MEMS膜/梁结构的RF MEMS柔性器件弯曲特性模型理论与实验研究
  • 批准号：
    61774032
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    63.0万元
  • 批准年份：
    2017
  • 负责人：
    韩磊
  • 依托单位：
    东南大学