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Near-field scanning optical microscopy for nanostructure analysis and maskless nanofabrication
用于纳米结构分析和无掩模纳米制造的近场扫描光学显微镜
基本信息
- 批准号：390598-2010
- 负责人：
- 金额：$ 9.18万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
- 财政年份：2009
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2009-01-01 至 2010-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
The proposed facility will establish nanostructure analysis and maskless nanofabrication system using near-field scanning optical microscopy (NSOM) coupled with an ultrafast laser, and it will be integrated with the existing laser nanomachining facility at Ryerson University.
拟议的设施将使用近场扫描光学显微镜（NSOM）结合超快激光建立纳米结构分析和无掩模纳米加工系统，并将与瑞尔森大学现有的激光纳米加工设施集成。
项目成果
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