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Dynamics of micro-electro-mechanical system resonators

Dynamics of micro-electro-mechanical system resonators
微机电系统谐振器的动力学
批准号：
341837-2008
负责人：
AbdelRahman, Eihab
金额：
$1.31万
依托单位：
University of Waterloo
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2010
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2010-01-01 至 2011-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=458604
关键词：
Dynamicsmicroelectromechanicalsystem

项目摘要

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A micro electro mechanical system (MEMS) resonator is a vibrating micro-structure embedded in a circuit. These devices are the basic components of a new generation of inexpensive and highly accurate circuit clocks, radio frequency (RF) filters, gas sensors, and gyroscopes. However, establishing a reliable design process for MEMS resonators has been an elusive goal. The main hurdle is that their dynamics are not well understood because of (i) the nonlinear nature of the actuating forces, (ii) the proportionally large motions involved, and (iii) and the multi-field coupling between the structural, electrostatic, electromagnetic, and fluidic forces.
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会议论文
A System for Optical Characterization of Complex MEMS
  • 批准号：
    RTI-2023-00328
  • 项目类别：
    Research Tools and Instruments
  • 资助金额：
    $10.84万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Next Generation Electromechanical Sensors
  • 批准号：
    RGPIN-2022-03343
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.33万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Micro-Electro-Mechanical Sensors and Actuators
  • 批准号：
    RGPIN-2016-04345
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.77万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Intelligent Shims for Aviation Systems
  • 批准号：
    566638-2021
  • 项目类别：
    Alliance Grants
  • 资助金额：
    $5.1万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
国内基金
海外基金
半导体micro-oled微显示切割关键技术研发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    孙大明
  • 依托单位：
    苏州科技大学
面向 GaN 基 micro-LED/钙钛矿量子点的异质集成与缺陷调控机制研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
  • 依托单位：
    南京邮电大学
Micro-LED芯片（模组）显示材料的研发及应用
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    张文霞
  • 依托单位：
    重庆邮电大学
基于高性能纳米线的3D打印储能芯片制备与构效关系研究
  • 批准号：
    JCZRLH202500840
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
  • 依托单位：
    湖北隆中实验室