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Dynamics of micro-electro-mechanical system resonators

Dynamics of micro-electro-mechanical system resonators
微机电系统谐振器的动力学
批准号：
341837-2008
负责人：
AbdelRahman, Eihab
金额：
$1.31万
依托单位：
University of Waterloo
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2010
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2010-01-01 至 2011-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=458604
关键词：
Dynamicsmicroelectromechanicalsystem

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
微电子机械系统(MEMS)谐振器是嵌入在电路中的振动微结构。这些器件是新一代廉价和高精度电路时钟、射频(RF)滤波器、气体传感器和陀螺仪的基本组件。然而，为MEMS谐振器建立可靠的设计流程一直是一个难以实现的目标。主要的障碍是，由于(I)驱动力的非线性性质，(Ii)所涉及的比例较大的运动，以及(Iii)结构力、静电力、电磁力和流体力之间的多场耦合，对它们的动力学没有很好的理解。
英文摘要
A micro electro mechanical system (MEMS) resonator is a vibrating micro-structure embedded in a circuit. These devices are the basic components of a new generation of inexpensive and highly accurate circuit clocks, radio frequency (RF) filters, gas sensors, and gyroscopes. However, establishing a reliable design process for MEMS resonators has been an elusive goal. The main hurdle is that their dynamics are not well understood because of (i) the nonlinear nature of the actuating forces, (ii) the proportionally large motions involved, and (iii) and the multi-field coupling between the structural, electrostatic, electromagnetic, and fluidic forces.
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会议论文
A System for Optical Characterization of Complex MEMS
  • 批准号：
    RTI-2023-00328
  • 项目类别：
    Research Tools and Instruments
  • 资助金额：
    $10.84万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Next Generation Electromechanical Sensors
  • 批准号：
    RGPIN-2022-03343
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.33万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Micro-Electro-Mechanical Sensors and Actuators
  • 批准号：
    RGPIN-2016-04345
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.77万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Intelligent Shims for Aviation Systems
  • 批准号：
    566638-2021
  • 项目类别：
    Alliance Grants
  • 资助金额：
    $5.1万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
国内基金
海外基金
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  • 项目类别：
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  • 资助金额：
    --
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  • 负责人：
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  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
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  • 依托单位：
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    62575070
  • 项目类别：
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    48.00万元
  • 批准年份：
    2025
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    陈恩果
  • 依托单位：
    福州大学
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  • 批准号：
    62574197
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    54.00万元
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    伊晓燕
  • 依托单位：
    中国科学院半导体研究所