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A characterization facility for precision actuators and microsystems

A characterization facility for precision actuators and microsystems
精密执行器和微系统的表征工具
批准号：
441390-2013
负责人：
BenMrad, Ridha
金额：
$5.01万
依托单位：
University of Toronto
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
财政年份：
2012
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2012-01-01 至 2013-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=510032
关键词：
characterizationfacilityprecisionactuatorsmicrosystems

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Our research program is motivated by many industrial applications that require the development of novel actuators with enhanced performance. Specifically, the work is focused on:
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A high performance MEMS platform for actuation and sensing
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06512
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $6.41万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    BenMrad, Ridha
  • 依托单位：
    University of Toronto
A high performance MEMS platform for actuation and sensing
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06512
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $3.21万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    BenMrad, Ridha
  • 依托单位：
    University of Toronto
A high performance MEMS platform for actuation and sensing
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06512
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $3.21万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    BenMrad, Ridha
  • 依托单位：
    University of Toronto
A high performance MEMS platform for actuation and sensing
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06512
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $3.21万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    BenMrad, Ridha
  • 依托单位：
    University of Toronto
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