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A high performance MEMS platform for actuation and sensing

A high performance MEMS platform for actuation and sensing
用于驱动和传感的高性能 MEMS 平台
批准号：
RGPIN-2017-06512
负责人：
BenMrad, Ridha
金额：
$6.41万
依托单位：
University of Toronto
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2021
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2021-01-01 至 2022-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=734897
关键词：
performanceMEMSplatformactuationsensing

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3D touch screens; Adaptive optics; Micro electro mechanical systems (MEMS); Micro electrostatic actuators; Micro electrostatic sensors; Micro mechatronics; Miniature cameras
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A high performance MEMS platform for actuation and sensing
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06512
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $3.21万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    BenMrad, Ridha
  • 依托单位：
    University of Toronto
A high performance MEMS platform for actuation and sensing
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06512
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $3.21万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    BenMrad, Ridha
  • 依托单位：
    University of Toronto
A high performance MEMS platform for actuation and sensing
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06512
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $3.21万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    BenMrad, Ridha
  • 依托单位：
    University of Toronto
Development of MEMS mirror for a LiDAR system used in urban rail and transportation
  • 批准号：
    508820-2017
  • 项目类别：
    Engage Grants Program
  • 资助金额：
    $1.82万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    BenMrad, Ridha
  • 依托单位：
    University of Toronto
国内基金
海外基金
导航级MEMS陀螺能量损耗及其失配机理研究
  • 批准号：
    2026JJ50499
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    樊波
  • 依托单位：
    南华大学
基于MEMS惯性传感器的工业机器人标定与校正方法技术开发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    王捍兵
  • 依托单位：
    常州机电职业技术学院
面向MEMS重力仪的低频噪声抑制关键技术研究
  • 批准号：
    JCZRQNB202600477
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
  • 依托单位：
    湖北光谷实验室
用于凝血和血小板功能检测的谐振式MEMS智能传感器研发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    蔡先法
  • 依托单位：
    南京邮电大学