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A high performance MEMS platform for actuation and sensing
用于驱动和传感的高性能 MEMS 平台
基本信息
- 批准号：RGPIN-2017-06512
- 负责人：
- 金额：$ 6.41万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Discovery Grants Program - Individual
- 财政年份：2021
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2021-01-01 至 2022-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
3D touch screens; Adaptive optics; Micro electro mechanical systems (MEMS); Micro electrostatic actuators; Micro electrostatic sensors; Micro mechatronics; Miniature cameras
3D触摸屏；自适应光学;微机电系统；微静电致动器；微静电传感器；微型机电一体化;微型摄像机
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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- 批准号：
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RGPIN-2017-06512 - 财政年份：2018
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