Innovative Methoden der Nanodotierung

这是一种新型的纳米材料制造方法，它具有更高的精度和更高的精度。Bisherige Prozesse Wurden für VolumenMaterial entwickelt and sind für Nanobauement e Wurig and wendbar.Bisher gibt es keine verlässliche strategie，Wie man Nanostrukturen kontrolliert dotieren kann.这是一种新的创新方式，从0-D，1-D的角度来看，它包含了一种新的技术，并在此基础上实现了新的技术。在Verwendung von homgenen den Dotierstoff ententenden Molekülmonolagen下，我们将自己的范围限制在一个范围内。他说：“我不知道你的名字是什么，我不知道你的名字是什么意思。”他说：“这是一件很重要的事情，决定我们的位置。麻省理工学院纳米轮廓和环境工程技术与技术研究中心，由L教授主持。在Annätzen Gelöst，Diese Nanodtierung和Einmal不在一起。硅纳米晶和氧化锌纳米晶是一种新型的材料，它是一种新型的材料。

Eine der größten Herausforderungen bei der Realisierung von Nanobauelementen ist die kontrollierte Dotierung mit atomarer Positions- und Profilkontrolle. Bisherige Prozesse wurden für Volumenmaterialien entwickelt und sind für Nanobauelemente wenig anwendbar. Bisher gibt es keine verlässliche Strategie, wie man Nanostrukturen kontrolliert dotieren kann. Aber auch der Nachweis einer erfolgreichen Dotierung trifft an die Grenzen der Untersuchbarkeit und ist vielfach nur indirekt möglich.In dem vorgeschlagenen Projekt sollen deshalb innovative, verallgemeinerungsfähige Strategien zur Dotierung von niederdimensionalen Halbleiterstrukturen (0-D, 1-D) entwickelt, erprobt und in ihren Eigenschaften untersucht werden. Dies könnte z.B. mit selbst limitierenden, chemischen Oberflächenreaktionen erreicht werden unter Verwendung von homogenen den Dotierstoff enthaltenden Molekülmonolagen. Aber auch die Anwendung von neuen Abscheideverfahren wie die Atomlagenabscheidung (ALD) mit neu zu entwickelnden Precursoren und Monolagenabscheidungen könnte in Frage kommen. Ziel des Projektes ist die lokale, deterministische Positionierung der Dotieratome auf selektierten Oberflächenbereichen. Methoden der Aktivierung und Entwicklung von Dotierungen mit Nanometerprofilen sind zu lösen. Diese Nanodotierung ist nicht einmal in Ansätzen gelöst. Als Modellsysteme werden Si Nanokristalle und ZnO Nanodrähte verwendet; weitere Materialien werden im Projektverlauf in die Untersuchungen einbezogen.