Eigenschaften funktionaler Strukturen auf der Nanoskala, hergestellt durch elektronen-strahlgestützte Verfahren.

Mit der elektronenstrahlinduzierten Materialabscheidung（电子束诱导沉积，EBiD） ist . möglich, feste, z. B. metallhaltige Strukturen Mit Abmessungen im Bereich weniger zehn他的100纳米材料材料gasförmig bereitgestellten前体-化学直接材料材料，也maskenlos材料材料材料Probenoberfläche zu erzegen。B.纳米键合（纳米键合），纳米键合（纳米键合），纳米键合（纳米键合）Über die bisherige Nutzung des ebidd - verfahrens in Form: berwigegengengend被动器Strukturen hinaus ist in wachsenden entwicklungfeld MEMS and NEMS sowie der mikro- und Nanorobotik sonders die Herstellung nanoskaliger， funktionaler Strukturen mit sensorischen and aktorischen Ei-genschaften von Interesse。这本Arbeitsgebiet, insbesondere MEMS和NEMS Entwicklung死去,将gegenwartig快速ausschließ巫妖的军队klassische Silicium-Mikromechanik abgedeckt (Wafer-Prozessierung)。Obwohl das ebi -Verfahren durch sequentielles, direcrektes Schreiben der gew<s:1> nschten Strukturen sehr viel zeitaufwändiger ist als die silium - micromechanik, bietet es deutliche Vorteile, die besonders beiner combinder Verfahren zum Tragen kommen。德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国。模具Funktionalität复合复合材料，z. B.传感器结构与材料结构设计abhängigNeben der in der literature sehr ausfhrlich beschriebenen elektrischen Eigenschaften elektrebenen - industrierter Abscheidungen sind sowol mechanische als auch thermomische Charakteristika von Interesse, die in der Regel von der Zusammensetzung and Morphologie des Materials abhängen。[2]王志强，王志强，王志强，等。热变形与热变形力学的传感器结构研究[j] .吉林大学学报（自然科学版）：präzise。在diesem Projekt sollen来自oben genannten Grunden死mechanischen和thermischen Eigenschaften和死morphologische Zusammensetzung der来自请来两ausgewahlten Precursoren abgeschiedenen Materialien ermittelt了。Zudem soll deren Abhängigkeit von prozesparametern während des abscheideprocesses and der Alterung der erzeugten structuren untersucht werden。Die dabei erwarteten Eigenschaften ermöglichen ein detailliertes Verständnis des abscheideproesses and somdesdesoptimierung and beinfussung in Hinblick aufdie Herstellung functionaler struckturen mit präzise definierten Eigenschaften。

Mit der elektronenstrahlinduzierten Materialabscheidung (electron beam induced deposition, EBiD) ist es möglich, feste, z. B. metallhaltige Strukturen mit Abmessungen im Bereich weniger zehn bis hundert Nanometer aus einer gasförmig bereitgestellten Precursor-Chemikalie direkt schreibend, also maskenlos auf einer Probenoberfläche zu erzeugen. Dieses Verfahren wird genutzt, um z. B. Objekte miteinander zu verbinden (Nanobonding), elektrische Leiterbahnen oder freistehende Strukturen zu erzeugen oder um fotolithografische Masken zu reparieren (siehe Stand der Forschung). Über die bisherige Nutzung des EBiD-Verfahrens in Form überwiegend passiver Strukturen hinaus ist im wachsenden Entwicklungsfeld mikro- und nanoskaliger elektromechanischer Systeme (MEMS und NEMS) sowie der Mikro- und Nanorobotik besonders die Herstellung nanoskaliger, funktionaler Strukturen mit sensorischen und aktorischen Ei-genschaften von Interesse. Dieses Arbeitsgebiet, insbesondere die MEMS und NEMS Entwicklung, wird gegenwärtig fast ausschließlich durch klassische Silicium-Mikromechanik (Wafer-Prozessierung) abgedeckt. Obwohl das EBiD-Verfahren durch sequentielles, direktes Schreiben der gewünschten Strukturen sehr viel zeitaufwändiger ist als die Silicium-Mikromechanik, bietet es deutliche Vorteile, die besonders bei einer Kombination beider Verfahren zum Tragen kommen. Beispielsweise können Bauteile, die in klassischer Silicium-Mikromechanik gefertigt werden, unabhängig von der in der Mikromechanik durch die Wafergeometrie und Wafer-Kristallstruktur vorgegebenen Fertigungsrichtung im Nachhinein mit funktionalisierenden Strukturen versehen werden.Die Funktionalität komplexer, z. B. sensorischer oder aktorischer Strukturen ist abhängig von verschiedenen Materialeigenschaften der Struktur selbst. Neben der in der Literatur sehr ausführlich beschriebenen elektrischen Eigenschaften elektronenstrahl-induzierter Abscheidungen sind sowohl mechanische als auch thermische Charakteristika von Interesse, die in der Regel von der Zusammensetzung und Morphologie des Materials abhängen. Da z. B. sensorische und aktorische Strukturen oftmals thermi-schen und mechanischen Belastungen ausgesetzt sind, ist die Kenntnis dieser Eigenschaften für eine präzise Modellierung der Strukturen unumgänglich.In diesem Projekt sollen aus oben genannten Gründen die mechanischen und thermischen Eigenschaften sowie die morphologische Zusammensetzung der aus zwei ausgewählten Precursoren abgeschiedenen Materialien ermittelt werden. Zudem soll deren Abhängigkeit von Prozessparametern während des Abscheideprozesses und der Alterung der erzeugten Strukturen untersucht werden. Die dabei erwarteten Ergebnisse ermöglichen ein detailliertes Verständnis des Abscheideprozesses und somit dessen Optimierung und Beeinflussung im Hinblick auf die Herstellung funktionaler Strukturen mit präzise definierten Eigenschaften.