Atomic layer deposition tool design, development, and testing
Atomic layer deposition tool design, development, and testing
批准号:
488540-2015
负责人:
Barry, Sean
金额:
$1.82万
依托单位:
依托单位国家:
加拿大
项目类别:
Engage Grants Program
财政年份:
2015
资助国家:
加拿大
项目状态:
已结题
起止时间:
2015-01-01 至 2016-12-31
中文摘要
该项目是位于安大略基奇纳的Angstrom工程公司与来自安大略省的Sean巴里教授之间的一项新合作。
位于安大略渥太华的卡尔顿大学。Angstrom Engineering是薄膜沉积设备制造领域的领导者,世界各地的研究人员使用该设备开发新技术。Angstrom想开发一种新的工具
原子层沉积(ALD)的过程。ALD允许非常薄的膜沉积在半导体材料的表面上。
不同的材料,并在微电子学,医学和许多其他领域的应用。巴里教授是一位顶尖的研究员
在ALD领域拥有数十年的ALD工具经验。在这个合作项目中,巴里博士和他的
Carleton的团队将与Angstrom Engineering合作,设计、开发和测试一种用于ALD研究实验室的新工具。
该项目将使Angstrom进入一个新的研究工具市场,并成为第一家
为世界各地的客户提供这样的工具。
英文摘要
This project is a new collaboration between Angstrom Engineering in Kitchener, Ontario, and Professor Sean Barry of
Carleton University in Ottawa, Ontario. Angstrom Engineering is a leader in the manufacturing of thin film deposition equipment used by researchers around the world to develop new technologies. Angstrom would like to develop a new tool
for a process called Atomic Layer Deposition (ALD). ALD allows for the deposition of very thin films on the surface of
different materials and has applications in microelectronics, medicine, and many others. Professor Barry is a top researcher
in the field of ALD, and has decades of experience working with ALD tools. In this collaborative project, Dr. Barry and his
team at Carleton will work with Angstrom Engineering to design, develop, and test a new tool for use in ALD research labs.
This project will allow Angstrom to enter a new market of research tools, and become the first Canadian-based company to
offer such a tool to clients worldwide.
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会议论文
New Metallization Precursors for Microelectronic applications
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批准号:RGPIN-2019-06213
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$3.5万
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财政年份:2022
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
New Metallization Precursors for Microelectronic applications
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批准号:RGPIN-2019-06213
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$3.5万
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财政年份:2021
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Molecular Layer Deposition (MLD) of CapturePhos - A Barrier for Flexible Electronics
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批准号:543877-2019
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项目类别:Collaborative Research and Development Grants
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资助金额:$11.28万
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财政年份:2020
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
New Metallization Precursors for Microelectronic applications
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批准号:RGPIN-2019-06213
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$3.5万
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财政年份:2020
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Molecular Layer Deposition (MLD) of CapturePhos - A Barrier for Flexible Electronics
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批准号:543877-2019
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项目类别:Collaborative Research and Development Grants
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资助金额:$3.76万
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财政年份:2019
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
New Metallization Precursors for Microelectronic applications
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批准号:RGPIN-2019-06213
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$3.5万
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财政年份:2019
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Gold Films by Atomic Layer Deposition: Precursor Design, Synthesis, Evaluation and Optimization in Deposition
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批准号:RGPIN-2014-06250
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$2.48万
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财政年份:2018
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Gold Films by Atomic Layer Deposition: Precursor Design, Synthesis, Evaluation and Optimization in Deposition
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批准号:RGPIN-2014-06250
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$2.48万
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财政年份:2017
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Graphene and Metal Laminates By ALD for Heat Conduction
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批准号:507397-2016
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项目类别:Engage Grants Program
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资助金额:$1.82万
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财政年份:2016
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Gold Films by Atomic Layer Deposition: Precursor Design, Synthesis, Evaluation and Optimization in Deposition
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批准号:RGPIN-2014-06250
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$2.48万
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财政年份:2016
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Gold Films by Atomic Layer Deposition: Precursor Design, Synthesis, Evaluation and Optimization in Deposition
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批准号:RGPIN-2014-06250
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$2.48万
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财政年份:2015
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Improving detection limits for HCFC123 with novel sensor technologies
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批准号:491918-2015
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项目类别:Engage Grants Program
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资助金额:$1.82万
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财政年份:2015
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Gold Films by Atomic Layer Deposition: Precursor Design, Synthesis, Evaluation and Optimization in Deposition
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批准号:RGPIN-2014-06250
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$2.48万
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财政年份:2014
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
400 MHz NMR Magnet
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批准号:473955-2015
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项目类别:Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
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资助金额:$10.31万
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财政年份:2014
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Development of atomic layer deposition precursors
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批准号:298389-2008
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.97万
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财政年份:2009
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Development of atomic layer deposition precursors
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批准号:298389-2008
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.97万
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财政年份:2008
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Precursor development and atomic layer deposition
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批准号:298389-2005
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.97万
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财政年份:2007
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Precursor development and atomic layer deposition
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批准号:298389-2005
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.97万
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财政年份:2006
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
Precursor development and atomic layer deposition
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批准号:298389-2005
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.97万
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财政年份:2005
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负责人:Barry, Sean
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依托单位:
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TGFβ-SMAD信号通路对干细胞分化的调控机制
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批准号:31771512
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批准年份:2006
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