Planarer Mikrobrenner in Mikrosystemtechnik

微系统技术中的平面微型燃烧器

• 批准号: 12917989
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrosystemtechnik E-7
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2004-12-31 至 2011-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/12917989?language=en
• 关键词: Planarer; Mikrobrenner; Mikrosystemtechnik

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, Aufbau und die Charakterisierung eines neuartigen verkapselten Mikrobrenners als planares Mikrosystem mit einem Volumenbedarf von weniger als 100 mm3 in einem Glas-Silizium-Glas-Sandwich für die Anwendung als Flammen-Ionisations- ggf. auch - Emissionsdetektor, als Magneto-Hydro dynamischer Generator sowie für die Brennwertbestimrnung von Gasen. Im Gegensatz zu bisher bekannten Lösungen soll die Flamme in der Siliziumebene zwischen zwei zur Unterdrückung der thermischen Abstrahlung verspiegelten Glassubstraten geführt und das Abgas durch einen im System integrierten Kühler kondensiert und durch lokal hydrophile Oberflächen abgeführt werden. Düsen und Zuführungen für Brenner, Probenzufuhr, Rückkühler, Massenflussregelung und Brennkammer sollen durch anisotropes Plasmaätzen des Siliziumsubstrates in einer Maskenebene erzeugt werden. Als Flammenionisationsdetektor soll das System neben dem Probeninjektor elektrisch abgeschirmte Elektroden für eine hohe Nachweis-Empfindlichkeit enthalten. Für die Brennwertbestimmung ist die Integration einer Temperaturdifferenzmessung auf Basis von Pt-Widerständen, für den MHD-Generator neben den Klemmen-Elektroden jeweils zur Erzeugung einer hohen Lorentzkraft SE-Magnete außerhalb der Glassubstrate beiderseits der Flamme der planaren Struktur vorgesehen. Als Brenngas für den lonisationsdetektor dient Knallgas, erzeugt in einer auf der Elektrolyse von Wasser basierenden Mikrobrennstoffzelle, für den MHDGenerator zur Gewährleistung einer hohe lonenstromdichte Acetylen. Die besonderen Vorteile dieser Systeme liegen neben dem geringen Medien-, Energie- und Platzbedarf und der geringen Menge und genauen Dosierbarkeit der Substanzen insbesondere in der bis auch einen Abgaskanal verschlossenen planaren Anordnung und der geringen Wärmeerzeugung und -kopplung an die Umgebung. Alle die Strömungen und Drücke kontrollierenden Komponenten und Strukturen werden über eine Maskenebene mit Lithographie und anisotropen Plasma-Ätztechniken in der Siliziumebene erzeugt. Durch diese planare Anordnung und thermische und elektrische Abschirmung können diese Systeme - der Flammionisationsdetektor z.B. in einen Gaschromatographen - auch in geschlossene Mikrosysteme mit einer unmittelbar kompatiblen Technik direkt integriert und störende Einflüsse auf das oder verursacht durch das System nahezu vollständig unterdrückt werden.

第二次世界大战的跨世界，Mikrosystem在Glas-Silizium-Glas-SandwichFürdie anwendung als als flammen-ionisation-ggf中处于100 mm3中。 AUCH -EnsionsDetektor，Magneto -Hydro Dynamicscher发电机Sowie frennwertbestimrnung von Gasen。我是世界的杂物，世界上是Unterdrückung，世界是死亡的好地方。 The sols of Brenner, Probenzufuhr, Rückungkühler, Massenfluussregelung, Brenner, Probenzufuhr, Rückukühler, Massenfluussregelung durch anisotropes Plasmaätzen des Siliziumsubstrates in einer Maskenebene erzeugt werden. Als Flammenisationsdetektor soll das系统Neben dem probeninjektor elektrisch abgeschirmte elektrodenfüreine eine hohe hohe nachweis-empfindlichkeit焓。 FürDie brennwertbestimmung ist Die Integration einer温度fferenzmessung auf基础von pt-widerständen，fürdenmhd-fenerator nebenter neben neben den mhdgenerator一直在努力实现世界目标。 Brengas的所有成员也都在努力实现世界的目标。 Brengas的所有成员也都在努力实现Brengas的目标，而Brengas正在努力实现Brengas的目标，而Brengas正在努力实现乙酰基的目标。 The system is a system that is literate to the Medien-, Energie- und Platzbedarf und der geringen Menge und genauen Dosierbarkeit der Substanzen insbesondere in der bis auch eminence Abgaskanal verschlossenen planaren Anordnung und der geringen Wärmeerzeugung und -Kopplung an die Umgebung.全部dieströmungunddrückekontrollierenden komponenten und strukturen werdenübereine eine maskenebene mit光刻该系统不仅是第一次。除了系统外，系统不仅是第一次。除了系统外，系统不仅是第一次。除了系统外，系统不仅是第一次。除了系统外，系统不仅是第一次。除了系统外，系统不仅是第一次。沃登。