Submillimeterwellen-Schaltungen

ziel4 des Vorhabens im车架der Forschergruppe是死Fortfuhrung der Entwicklung冯·Technologien和Komponenten皮毛Sub-Millimeterwellenschaltungen insbesondere冯Abstimmelementen和komplexen Schaltungen和Antennen auf基础mikrogeschirmter Leitungen, basierend auf dunnen Siliziumoxinitridmembranen, Hochraten-Plasmaatztechnik冯·Silizium Dunnschichtmetallisierung和静脉Hochfrequenz——tauglichen部件毛皮mehrere衬底。麻省理工学院（Mit technology）在德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国同时，热力学和稳定剂的研究表明，在阵列阵列中，Schaltungsteile是一种复合材料。Um die Ausbeute gegenz, ber der directkten Integration in Arrays zu erhöhen, sollen Methoden zur vollständigen Charakterisierung einzelner Teilschaltungen <e:1> ber Antennenstrukturen and hohlletenen ßschaltungen entwickelt werden。在此同时，我们还发现了一种新的方法，那就是将生殖与遗传结合起来。

Ziel des Vorhabens im Rahmen der Forschergruppe ist die Fortführung der Entwicklung von Technologien und Komponenten für Sub-Millimeterwellenschaltungen, insbesondere von Abstimmelementen und komplexen Schaltungen und Antennen auf Basis mikrogeschirmter Leitungen, basierend auf dünnen Siliziumoxinitridmembranen, Hochraten-Plasmaätztechnik von Silizium, Dünnschichtmetallisierung und einer Hochfrequenz- tauglichen Verbindungstechnik für mehrere Substrate. Mit dieser Technologie sollen in Zusammenarbeit mit den Partnern weitere integrierte Hochfrequenzschaltungen für Impattoszillatoren, Empfänger und Mischer mit besonderem Schwerpunkt auf deren Synchronisierbarkeit und Leistungsoptimierung entwickelt werden, die insbesondere neuartige Abstimmelemente für eine dauerhafte Feinabstimmung enthalten, die vorzugsweise elektrostatisch verstellt werden sollen. Besonderes Augenmerk soll dabei auf das Zusammenspiel wie Synchronisierung, Thermomechanik und stabiler Betrieb der einzelnen komplexen Schaltungsteile im Array gelegt werden. Um die Ausbeute gegenüber der direkten Integration in Arrays zu erhöhen, sollen Methoden zur vollständigen Charakterisierung einzelner Teilschaltungen über Antennenstrukturen und Hohlleiten-neßschaltungen entwickelt werden. Die mit hoher Reproduzierbarkeit und Genauigkeit in simultanen Prozessen hergestellten Teilschaltungen sollen anschließend in einem selbstjustierenden hybriden Aufbau integriert werden.