Submillimeterwellen-Schaltungen

锻造集团的核心力量是亚毫米级技术开发和组件的堡垒，是雷通根基础上的消除元件和复杂结构以及天线的基础，基础是硅氧氮化膜、硅的高等离子技术、金属化和高频率结合技术用于基质。 Mit dieser Technologie sollen in Zusammenarbeit mit den Partnern weitere integrierte Hochfrequenzschaltungen für Impattoszillatoren, Empfänger und Mischer mit besonderem Schwerpunkt auf deren Synchronisierbarkeit and Leistungsoptimierung entwickelt werden, die insbesondere neuartige Abstimmelemente for eine dauerhafte Feinabstimmung enthalten，die vorzugsweise elektrostatisch verstellt werden solen。同步、热机械和稳定器是阵列中的复杂结构的重要组成部分。嗯，我们直接在阵列中进行积分，并提出了一种方法来解决天线结构和天线结构之间的关系。在此过程中，您可以同时进行复制和生成，并以自我调整的方式完成整个过程。

Ziel des Vorhabens im Rahmen der Forschergruppe ist die Fortführung der Entwicklung von Technologien und Komponenten für Sub-Millimeterwellenschaltungen, insbesondere von Abstimmelementen und komplexen Schaltungen und Antennen auf Basis mikrogeschirmter Leitungen, basierend auf dünnen Siliziumoxinitridmembranen, Hochraten-Plasmaätztechnik von Silizium, Dünnschichtmetallisierung und einer Hochfrequenz- tauglichen Verbindungstechnik für mehrere Substrate. Mit dieser Technologie sollen in Zusammenarbeit mit den Partnern weitere integrierte Hochfrequenzschaltungen für Impattoszillatoren, Empfänger und Mischer mit besonderem Schwerpunkt auf deren Synchronisierbarkeit und Leistungsoptimierung entwickelt werden, die insbesondere neuartige Abstimmelemente für eine dauerhafte Feinabstimmung enthalten, die vorzugsweise elektrostatisch verstellt werden sollen. Besonderes Augenmerk soll dabei auf das Zusammenspiel wie Synchronisierung, Thermomechanik und stabiler Betrieb der einzelnen komplexen Schaltungsteile im Array gelegt werden. Um die Ausbeute gegenüber der direkten Integration in Arrays zu erhöhen, sollen Methoden zur vollständigen Charakterisierung einzelner Teilschaltungen über Antennenstrukturen und Hohlleiten-neßschaltungen entwickelt werden. Die mit hoher Reproduzierbarkeit und Genauigkeit in simultanen Prozessen hergestellten Teilschaltungen sollen anschließend in einem selbstjustierenden hybriden Aufbau integriert werden.