Abstimmbare polarisationsunabhängige Koppler, Polarisationsdreher und Gitterkoppler in SOI-Nanowire-Technologie

采用 SOI 纳米线技术的可调谐偏振无关耦合器、偏振旋转器和光栅耦合器

• 批准号: 28893568
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrosystemtechnik E-7
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Units
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2005-12-31 至 2013-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/28893568?language=en
• 关键词: Abstimmbare; polarisationsunabh; ngige; Koppler; Polarisationsdreher

Ziel des Vorhabens ist die Realisierung von dynamisch und statisch abstimmbaren SOI-Resonatoren und -Arrays auf kleinstem Raum ohne Übersprechen in der Abstimmung zum Aufbau von Multiplexsystemen auf Basis des thermo-optischen, des elasto-optischen, insbesondere aber eines vorzugsweise im Silizium integrierbaren elektrooptischen Effektes. Zur Überwachung der Resonanz-frequenzen ist die Integration eines hochauflösenden vollständig integrierten Transmissions-Gitterspektrometers ebenfalls in SOI-Technik vorgesehen, dem die aktuellen Resonatorfrequenzen über schwach angekoppelte Film-Wellenleiter zugeführt werden. Die Zuordnung der individuellen Wellenlängen zu den jeweiligen Resonatoren erfolgt über deren kurzzeitige Verstimmung in definierten Zeitabständen. Die Entkopplung der thermisch verstimmten Resonatoren soll dadurch erreicht wer-den, dass das Silizium unterhalb des Arrays entfernt wird, ggf. bis auf wenige Brücken zusätzlich auch das Siliziumdioxid. Spiralförmige Heizwendel, die über freitragende Metallisierungen mit Strom versorgt werden, temperieren die Resonatoren. Alternativ soll das leitfähige Silizium direkt durch Stromfluss beheizt werden mit beiderseitigen Kontakten im Resonatorzentrum (unten nach Entfernen des SiO2). Zur selektiven Abstimmung mit optimaler Nutzung des elasto-optischen Effekts sind die Resonatoren im Abstimmbereich als Siliziumwellenleiter mit hohem Feldanteil in der SiO2-Ummantelung auf dünnen SiO2-Bändern bzw. freitragend auszuführen. Sie werden elektrostatisch verstimmt mit z.B. durch anodisches Bonden darüber applizierten Feldelektroden - bei freitragenden Strukturen auch durch parallel zu den Wellenleitern in der Ebene angeordneten.

在基于热光学、弹性光学的多路复用系统中，利用集成硅光电效应实现了小腔SOI谐振器和阵列的动态和动态特性。 在SOI技术中，谐振频率的集成是一种非常先进的集成传输Gitterspektrometers，它使谐振频率的测量变得韦尔登。Die Zuordnung der individualellen Wellenlängen zu den jeweiligen Resonatoren erfolgt über deren kurzzeitige Verstimmung in definiten Zeitabständen.热激励谐振器的工作原理是非常简单的，因为硅基材料是由阵列组成的。然后再把二氧化硅也用在布吕肯身上。Spiralförmige Heizwendel，die über freitragende Metallisierungen mit Strom versorgt韦尔登，temperieren die Resonatoren. Alternativ soll das leitfähige Silizium direkt durch Stromfluss beheizt韦尔登mit beiderseitigen Kontakten im Resonatorzentrum（unten nach Entfernen des SiO2）.采用最佳的弹性光学效应的选择性吸收是在SiO2-Ummantelung和SiO2-Bändern bzw中采用高质量的SiO2薄膜的吸收中产生的共振。freitragend auszuführen。您的韦尔登电动车和z.B. durch anodisches Bonden darüber applizierten Feldelektroden - bei freitragenden Strukturen auch durch parallel zu den Wellenleitern in der Ebene angeordneten.