Abstimmbare polarisationsunabhängige Koppler, Polarisationsdreher und Gitterkoppler in SOI-Nanowire-Technologie

采用 SOI 纳米线技术的可调谐偏振无关耦合器、偏振旋转器和光栅耦合器

• 批准号: 28893568
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrosystemtechnik E-7
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Units
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2005-12-31 至 2013-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/28893568?language=en
• 关键词: Abstimmbare; polarisationsunabh; ngige; Koppler; Polarisationsdreher

Ziel des Vorhabens ist die Realisierung von dynamisch und statisch abstimmbaren SOI-Resonatoren und -Arrays auf kleinstem Raum ohne Übersprechen in der Abstimmung zum Aufbau von Multiplexsystemen auf Basis des thermo-optischen, des elasto-optischen, insbesondere aber eines vorzugsweise im Silizium integrierbaren elektrooptischen Effektes. Zur Überwachung der Resonanz-frequenzen ist die Integration eines hochauflösenden vollständig integrierten Transmissions-Gitterspektrometers ebenfalls in SOI-Technik vorgesehen, dem die aktuellen Resonatorfrequenzen über schwach angekoppelte Film-Wellenleiter zugeführt werden. Die Zuordnung der individuellen Wellenlängen zu den jeweiligen Resonatoren erfolgt über deren kurzzeitige Verstimmung in definierten Zeitabständen. Die Entkopplung der thermisch verstimmten Resonatoren soll dadurch erreicht wer-den, dass das Silizium unterhalb des Arrays entfernt wird, ggf. bis auf wenige Brücken zusätzlich auch das Siliziumdioxid. Spiralförmige Heizwendel, die über freitragende Metallisierungen mit Strom versorgt werden, temperieren die Resonatoren. Alternativ soll das leitfähige Silizium direkt durch Stromfluss beheizt werden mit beiderseitigen Kontakten im Resonatorzentrum (unten nach Entfernen des SiO2). Zur selektiven Abstimmung mit optimaler Nutzung des elasto-optischen Effekts sind die Resonatoren im Abstimmbereich als Siliziumwellenleiter mit hohem Feldanteil in der SiO2-Ummantelung auf dünnen SiO2-Bändern bzw. freitragend auszuführen. Sie werden elektrostatisch verstimmt mit z.B. durch anodisches Bonden darüber applizierten Feldelektroden - bei freitragenden Strukturen auch durch parallel zu den Wellenleitern in der Ebene angeordneten.

世界上最具创新性和实践的方面是死亡的最佳时机。消除整合的最具创新性和有效的方法是死亡的最佳方法。 hochauflösendenvollständigintemerierten transmissions transmissions-gitterspektrometers ebenfalls在soi-technik vorgesehen，dem die die die aktuellen resonatorfrequenatorfrequenfrequenaTorfrequenzenüberschwach angekoppelte angekoppelte filmekoppelte filmenleenleter fillenleiterzugeugeführtwerden。 Die Zuordnung der SytoneuellenwellenlängenZu den Jeweiligen resonatorenErfolgtüberDerenkurzzeitige verstimmung in definiertenzeitabständen。 Die Entkopplung der Thermisch verstimmten螺旋的螺旋，即Strom Versorgt Werden，Stromflus de la Stromflus de la la ggf。金属金，金属赛，versorgt werden，the Wemberierungen和Stromflus de la ggf的螺旋。 Strom与Stromflus de la GGF是最好的选择。 IM resonatorZentrum（Unten Nach Entfernen des Sio2）。 ZUR SELEKTIDER弃毒剂MIT Optimaler Nutzung des Elasto-Optischen Effekts Sind Die Resonatoren Im Abstimmbereich als siliziumwellenleiter Mit Hohem Feldanteil在der Sio2-umm2-ummantem2-mummantelung aufdünnensio2-bändernbändernBändernBändernBändernBändernBändernBändernBändernBändernBändernbänderne FreitragendAuszuführen。 Sie Werden Elektrostatisch Verstimmt Mit Z.B. Durch AnodischesBondenDarüberAppliziertenfeldelektroden -Bei freitragenden strukturen auch auch durch durch Parallel Zu den wellenleitern in der ebene angeordneten。