Abstimmbare polarisationsunabhängige Koppler, Polarisationsdreher und Gitterkoppler in SOI-Nanowire-Technologie

采用 SOI 纳米线技术的可调谐偏振无关耦合器、偏振旋转器和光栅耦合器

• 批准号: 28893568
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrosystemtechnik E-7
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Units
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2005-12-31 至 2013-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/28893568?language=en
• 关键词: Abstimmbare; polarisationsunabh; ngige; Koppler; Polarisationsdreher

Ziel des Vorhabens ist die Realisierung von dynamisch und statisch abstimmbaren SOI-Resonatoren und -Arrays auf kleinstem Raum ohne Übersprechen in der Abstimmung zum Aufbau von Multiplexsystemen auf Basis des thermo-optischen, des elasto-optischen, insbesondere aber eines vorzugsweise im Silizium integrierbaren elektrooptischen Effektes. Zur Überwachung der Resonanz-frequenzen ist die Integration eines hochauflösenden vollständig integrierten Transmissions-Gitterspektrometers ebenfalls in SOI-Technik vorgesehen, dem die aktuellen Resonatorfrequenzen über schwach angekoppelte Film-Wellenleiter zugeführt werden. Die Zuordnung der individuellen Wellenlängen zu den jeweiligen Resonatoren erfolgt über deren kurzzeitige Verstimmung in definierten Zeitabständen. Die Entkopplung der thermisch verstimmten Resonatoren soll dadurch erreicht wer-den, dass das Silizium unterhalb des Arrays entfernt wird, ggf. bis auf wenige Brücken zusätzlich auch das Siliziumdioxid. Spiralförmige Heizwendel, die über freitragende Metallisierungen mit Strom versorgt werden, temperieren die Resonatoren. Alternativ soll das leitfähige Silizium direkt durch Stromfluss beheizt werden mit beiderseitigen Kontakten im Resonatorzentrum (unten nach Entfernen des SiO2). Zur selektiven Abstimmung mit optimaler Nutzung des elasto-optischen Effekts sind die Resonatoren im Abstimmbereich als Siliziumwellenleiter mit hohem Feldanteil in der SiO2-Ummantelung auf dünnen SiO2-Bändern bzw. freitragend auszuführen. Sie werden elektrostatisch verstimmt mit z.B. durch anodisches Bonden darüber applizierten Feldelektroden - bei freitragenden Strukturen auch durch parallel zu den Wellenleitern in der Ebene angeordneten.

Ziel des Vorhabens ist die Realisierung von Dynamisch und statisch Abtimmbaren SOI-Resonatoren und -Arrays auf kleinstem Raum ohne Übersprechen in der Abstimmung zum Aufbau von Multiplexsystemen auf Basis des heat-optischen, des elasto-optischen, insbesondere aber eines vorzugsweise我是 Silizium integrierbaren elektrooptischen Effektes。 谐振频率的高级集成是 SOI 技术中传输振动频谱仪的集成，它是与薄膜Wellenleiter 中的谐振器频率有关的 韦尔登祖格菲特。个体的音响效果和谐振器的效果是在定义的时间范围内进行的。 Die Entkopplung der thermisch verstimmten Resonatoren soll badurch erreicht wer-den, dass das Silizium unterhalb des Arrays entfernt wird, ggf.其成分为二氧化硅。螺旋形海兹文德尔 (Spiralförmige Heizwendel)，是一种与 Strom versorgt werden、tempieren die Resonatoren 相结合的 freitragende Metallisierungen。替代方案是直接使用硅材料来将 Stromfluss 与 Resonatorzentrum 上的 Beiderseitigen Kontakten 结合起来（unten nach Entfernen des SiO2）。在 SiO2-Ummantelung auf dünnen SiO2-Bändern bzw 中选择抑制和优化弹性优化效果的调节器，以抑制 SiO2-Ummantelung 中的硅化效果。 freitragend auszuführen。 Sie werden elektrostatisch verstimmt mit z.B. durch anodisches Bonden darüber applizierten Feldelektroden - bei freitragenden Strukturen durch para zu den Wellenleitern in der Ebene angeordneten。