Paramagnetischer Sauerstoffsensor in Mikrosystemtechnik
微系统技术中的顺磁氧传感器
基本信息
- 批准号:50500091
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Research Grants
- 财政年份:2007
- 资助国家:德国
- 起止时间:2006-12-31 至 2010-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Ziel des Vorhabens ist der Aufbau eines paramagnetischen Sauerstoffsensors in Mikrosystemtechnik, der eine Sauerstoffmessung im medizinisch und technisch relevanten Konzentrationsbereich oberhalb von ca. 1% erlaubt. Zugrunde liegt diesem System die Erzeugung von Druckunterschieden in symmetrisch aufgebauten Kanalstrukturen durch lokale hohe Magnetfeldgradienten, hervorgerufen durch die paramagnetischen Eigenschaften des Sauerstoffs. Technologiebasis des Systems sind mit Hilfe von ICP-Ätzverfahren in Silizium eingebrachte symmetrische Kanalstrukturen, die auf einer oder auf beiden Seiten mit Glassubstraten verschlossen werden. Lokal unterschiedliche Kanalquerschnitte und die direkte Integration von freitragenden Widerständen zur Flussmessung - alternativ Pirani-Strukturen zur Druckmessung - in diese Kanäle sowie symmetrisch angeordneten Heizwendeln zur thermischen Modulation des paramagnetischen Eigenschaften des Sauerstoffs lassen eine gegenüber bisherigen Konzepten - auch solchen in Mikrotechniken - eine erheblich verbesserte Empfindlichkeit erwarten. Ausgehend von numerischen Simulationen zu den Strömungs- und Druckverläufen in Abhängigkeit von Kanalform- und Querschnitt, der Magnetfeldanordnung und -stärke sowie zur Modulation der paramagnetischen Eigenschaften des Sauerstoffs durch eine symmetrische Beheizung des Gases soll ein Mikrosystem aufgebaut werden. In dieses sollen neben den Kanälen, Fluss- bzw. Differenzdruck-Messbrücken und Heizwendeln zur thermischen Modulation Strukturen integriert werden zur definierten Einstellung der lokalen Flussgeschwindigkeiten und Druckstufen sowie zur mikrometer-genauen Positionierung von Permanentmagneten und zum Anschluss an unterschiedliche Messumgebungen (im Fluss, im Bypass, als offenes System). Des Weiteren soll die jeweilige Auswertelektronik entwickelt und aufgebaut werden.
Ziel des Vorhabens是微系统技术中的一种顺磁性Sauerstoff传感器,用于医学和技术相关的测量。百分之一。Zugrunde将该系统置于对称的Kanalstrukturen中,该系统通过磁菲尔德梯度来实现,通过Sauerstoffs的顺磁性特征来实现。系统的技术基础是在硅合金中的ICP-Δ tzverfahren,该硅合金是一种对称的管道结构,它可以是一种或多种具有韦尔登的基底。局部非线性Kanalquerschnitte和直接集成freitragenden Widerständen zur Flussmessung - alternativ Pirani-Strukturen zur Druckmessung - in diese Kanäle sowie symmetrisch angeordneten Heizwendeln zur thermischen Modulation des paramagnetischen Eigenschaften des Sauerstoffs lassen eine gegenüber bisherigen Konzepten - auch solchen in Mikrotechniken - eine erheblich verbesserte Emfindlichkeit erwarten。通过对韦尔登系统中气体的对称性对超导磁体顺磁性本征值的调制进行了数值模拟。在这一点上,我们的目标是,Fluss bzw。热调制结构的差压和差压韦尔登可用于确定局部磁通量和差压,以确定永磁体的微通道位置,并将其与非线性测量系统(磁通量、旁路和非线性系统)相结合。这些卫星将使卫星通讯设备变小并增加韦尔登。
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
Professor Dr.-Ing. Jörg Müller其他文献
Professor Dr.-Ing. Jörg Müller的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
{{ truncateString('Professor Dr.-Ing. Jörg Müller', 18)}}的其他基金
Paramagnetischer Sauerstoffsensor in Mikrosystemtechnik
微系统技术中的顺磁氧传感器
- 批准号:
213734975 - 财政年份:2012
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Grants (Transfer Project)
Multiparameter -Sensor-Mikrosystem für die Meeresforschung
用于海洋研究的多参数传感器微系统
- 批准号:
163148141 - 财政年份:2010
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Grants
Abstimmbare polarisationsunabhängige Koppler, Polarisationsdreher und Gitterkoppler in SOI-Nanowire-Technologie
采用 SOI 纳米线技术的可调谐偏振无关耦合器、偏振旋转器和光栅耦合器
- 批准号:
28893568 - 财政年份:2006
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Units
Verkapselte CMOS-kompatible mikromechanische Hochfrequenz-Resonatoren in SOI
采用 SOI 封装的 CMOS 兼容高频微机械谐振器
- 批准号:
22974878 - 财政年份:2006
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Grants
Verlustarme optische Systeme mit polarisationsunabhängigen SOI-Wellenleitern und Koppelstrukturen für die Kommunikations- und Messtechnik
用于通信和测量技术的具有偏振无关 SOI 波导和耦合结构的低损耗光学系统
- 批准号:
28893518 - 财政年份:2006
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Units
Wellenleiterstrukturen und -Komponenten für mehrlagige integriert-optische SOI-Systeme
用于多层集成光学 SOI 系统的波导结构和组件
- 批准号:
28893499 - 财政年份:2006
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Units
Gas-Injektor für Mikroanalyse-Systeme
用于微量分析系统的气体注射器
- 批准号:
20498373 - 财政年份:2005
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Grants
Planarer Mikrobrenner in Mikrosystemtechnik
微系统技术中的平面微型燃烧器
- 批准号:
12917989 - 财政年份:2005
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Grants
Intravaskuläre minimal-invasive hochauflösende Magnetresonanz-Sonde in Mikrosystemtechnik mit integrierter optischer Signalübertragung
采用集成光信号传输的微系统技术的血管内微创高分辨率磁共振探头
- 批准号:
5450597 - 财政年份:2005
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Grants
Breitbandig abstimmbarer integriert-optischer Klinkenrad-Ring-Laser in dotierten Aluminiumoxid-Wellenleitern
掺杂氧化铝波导中的宽带可调谐集成光学棘轮环激光器
- 批准号:
5438539 - 财政年份:2004
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Grants
相似海外基金
Paramagnetischer Sauerstoffsensor in Mikrosystemtechnik
微系统技术中的顺磁氧传感器
- 批准号:
213734975 - 财政年份:2012
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Grants (Transfer Project)
Klonierung und funktionelle Charakterisierung von PASKIN, einem neuen, potentiellen Sauerstoffsensor in Säugetierzellen
哺乳动物细胞中新型潜在氧传感器 PASKIN 的克隆和功能表征
- 批准号:
5330860 - 财政年份:2001
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Grants