Breitbandig abstimmbarer integriert-optischer Klinkenrad-Ring-Laser in dotierten Aluminiumoxid-Wellenleitern

Ziel de Vorhabens ist der Aufbau, die Realisierung and characterisierung .集成光学系统（integrated optical - systems），基于集成光学系统（integrated optical - system），基于集成光学系统（wellenleiteren）， doi: -ähnlichem Wellenleiterkern。大苏sollen Al2O3-Wellenleiterschichten abgeschieden werden - PECVD-Prozess准epitaktisch auf iner zuvor in gleicher Weise auchmisch oxidertem Silizium niedergeschlagen and anschließend durch rpt - tempern zusapphire -ähnlicher形态结晶性铝氧化schicht abgeschieden werden。Auf diese Weise können die Wellenleiter simultan mit Übergangs- und Seltenen-Erden-Metallen wie Titan， Chrom和erden - erden - metalorganischen verindungen optisch aktiv dotiert werden， ohne dass es zur Ausbildung größerer晶体和damit erhöhten Streuverlusten kommt。auh ßer durch den "klassischen" Aufbau als streifenbelastete Wellenleiter im Si02-A1203-Si02- systemstein lassen sifbau als Streifenwellenleiter durch lokales Abdecken dieser Saatschicht z.B. mit Si02 and lokaler准外延unschiedlicher Geometrie ohne ine u. schwierige struckturierung von stallinem A1203 realisieren。德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国Die polarization wind, durch bereichsweise Abdeckung der Wellenleiter mit metallischen Schichten auf TM beschränkt。[6]激光激励与膜层协同作用的研究，基于弹性光学效应的微观力学研究。基于zno基的电光学谐振器，在Zug上进行了激活环谐振器的研究。Die Pumpleistung wid vorzugsweise <e:1>, Die Ausgangsleistung, ber Koppler abgef<e:1> hrt。

Ziel des Vorhabens ist der Aufbau, die Realisierung und Charakterisierung eines integrierten optisch gepumpten abstimmbaren Ringlaser-Systems auf Basis von integriert optischen Wellenleitern auf Silizium mit dotiertem, Saphir-ähnlichem Wellenleiterkern. Dazu sollen Al2O3-Wellenleiterschichten aus einer metallorganischen Verbindung im PECVD-Prozess quasiepitaktisch auf einer zuvor in gleicher Weise auf thermisch oxidiertem Silizium niedergeschlagenen und anschließend durch RTP-Tempern zu Saphir-ähnlicher Morphologie kristallisierten Aluminiumoxidschicht abgeschieden werden. Auf diese Weise können die Wellenleiter simultan mit Übergangs- und Seltenen-Erden-Metallen wie Titan, Chrom und Erbiun aus metallorganischen Verbindungen optisch aktiv dotiert werden, ohne dass es zur Ausbildung größerer Kristallite und damit erhöhten Streuverlusten kommt. Außer durch den "klassischen" Aufbau als streifenbelastete Wellenleiter im Si02-A1203-Si02-Systein lassen sich Streifenwellenleiter durch lokales Abdecken dieser Saatschicht z.B. mit Si02 und lokaler Quasi-Epitaxie unterschiedlicher Geometrie ohne eine u.U. schwierige Strukturierung von kristallinem A1203 realisieren. Die Ausbreitung der optischen Energie nur in einer Ringrichtung wird durch eine asymmetrisch versetzte Aneinanderreihung von Kreissegmenten, eine "Klinkenradstruktur", erreicht, die die nach außen gedrängten Felder nur in eine Richtung verlustarm überkoppelt. Die Polarisation wird durch bereichsweise Abdeckung der Wellenleiter mit metallischen Schichten auf TM beschränkt. Zur Abstimmung des Lasers sind alternativ auf Membranen angeordnete, mikromechanisch auf Basis des elastooptischen Effekts gekoppelte Ringresonatoren bzw. elektro-optisch verstimmbare auf ZnO-Basis vorgesehen sowie im Zug des aktiven Ringresonators liegende ebenfalls elektro-optisch verstimmbare Etalons. Die Pumpleistung wird vorzugsweise über Y-Verzweigungen zu, die Ausgangsleistung über Koppler abgeführt.