Breitbandig abstimmbarer integriert-optischer Klinkenrad-Ring-Laser in dotierten Aluminiumoxid-Wellenleitern

掺杂氧化铝波导中的宽带可调谐集成光学棘轮环激光器

• 批准号: 5438539
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrosystemtechnik E-7
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2003-12-31 至 2011-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5438539?language=en
• 关键词: Breitbandig; abstimmbarer; integriert; optischer; Klinkenrad

Ziel des Vorhabens ist der Aufbau, die Realisierung und Charakterisierung eines integrierten optisch gepumpten abstimmbaren Ringlaser-Systems auf Basis von integriert optischen Wellenleitern auf Silizium mit dotiertem, Saphir-ähnlichem Wellenleiterkern. Dazu sollen Al2O3-Wellenleiterschichten aus einer metallorganischen Verbindung im PECVD-Prozess quasiepitaktisch auf einer zuvor in gleicher Weise auf thermisch oxidiertem Silizium niedergeschlagenen und anschließend durch RTP-Tempern zu Saphir-ähnlicher Morphologie kristallisierten Aluminiumoxidschicht abgeschieden werden. Auf diese Weise können die Wellenleiter simultan mit Übergangs- und Seltenen-Erden-Metallen wie Titan, Chrom und Erbiun aus metallorganischen Verbindungen optisch aktiv dotiert werden, ohne dass es zur Ausbildung größerer Kristallite und damit erhöhten Streuverlusten kommt. Außer durch den "klassischen" Aufbau als streifenbelastete Wellenleiter im Si02-A1203-Si02-Systein lassen sich Streifenwellenleiter durch lokales Abdecken dieser Saatschicht z.B. mit Si02 und lokaler Quasi-Epitaxie unterschiedlicher Geometrie ohne eine u.U. schwierige Strukturierung von kristallinem A1203 realisieren. Die Ausbreitung der optischen Energie nur in einer Ringrichtung wird durch eine asymmetrisch versetzte Aneinanderreihung von Kreissegmenten, eine "Klinkenradstruktur", erreicht, die die nach außen gedrängten Felder nur in eine Richtung verlustarm überkoppelt. Die Polarisation wird durch bereichsweise Abdeckung der Wellenleiter mit metallischen Schichten auf TM beschränkt. Zur Abstimmung des Lasers sind alternativ auf Membranen angeordnete, mikromechanisch auf Basis des elastooptischen Effekts gekoppelte Ringresonatoren bzw. elektro-optisch verstimmbare auf ZnO-Basis vorgesehen sowie im Zug des aktiven Ringresonators liegende ebenfalls elektro-optisch verstimmbare Etalons. Die Pumpleistung wird vorzugsweise über Y-Verzweigungen zu, die Ausgangsleistung über Koppler abgeführt.

齐尔·德·沃哈本斯·德·德·奥夫巴乌，他的工作和特征是他的职业生涯和职业生涯，以及他的职业生涯。Dazu Sollen Al_2O_3-Wellenleiterschichten Ainer einer金属组织Verbindung im PECVD-Prozess准外延技术在Gleicher Weise auf thermisch氧化合物Silizium niedergeschlagenen and anschlie？end dch rtp-tempern zu saphir-ähnlicher Morphologie kristallisierten Alumoxschicht abgeschieden wenden中进行。这是一件非常重要的事情，因为这是一件非常重要的事情，因为这是一件非常重要的事情。从SI02-A1203-SI02-Systein Lassen sich Streifenwell leiter Durch lokales Abdecken Dieser Saatschicht z.B.MIT Si02 and lokaler准Ebitaxie unterschiedlicer georrie ohne U.S.schilerige Strukturierung von kristallinem A1203 realisieren.他说：“这是一种不对称的现象，因为它不是最好的，也不是最好的。”模具偏振将持续时间为Wellenleiter MIT金属Schichten auf TM定制。这是一种基于氧化锌的半导体激光器，也是一种新型的光纤谐振器，具有良好的性能。您的位置：我也知道您的位置：我的位置是：您的位置：我的位置：您的位置：