Breitbandig abstimmbarer integriert-optischer Klinkenrad-Ring-Laser in dotierten Aluminiumoxid-Wellenleitern

它是一种集成光学环形激光器系统的结构、实现和特性，其基础是硅上的集成光学阱，具有多个阱芯，Saphir-ahnlichem Wellenleiterkern。用PECVD工艺在热氧化硅表面进行准外延生长，并通过RTP-回火法在Saphir-70形态学上获得最小氧化物韦尔登，获得Al_2 O_3-Wellenleiterschichten。在这一时期，我们发现了与钛、铬和铒等金属有机物类似的超硬-金属材料，这些金属有机物的光学性质决定了韦尔登的光学性质，因此，它们可以形成更大的结晶体和更强的反射光。在Si 02-A1203-Si 02-Systein系统中，通过局部Abdecken Saatschicht z.B.的“经典”结构获得了高强度的抗弯强度。用Si 02和局部准外延技术制备了一种几何形状不规则的纳米晶。由A1203晶体制成的结构。光能量的吸收仅在一个环内通过一个非对称的对Kreisssegmenten的反作用，一个“Klinkenradstruktur”，正确地，在一个环内，光能量的吸收仅在一个环内通过一个反作用。极化将通过带有金属Schichten的Wellenleiter进行测量。激光束在薄膜上的吸收是交替的，在弹性光学效应的基础上的微机械作用是环形谐振。在ZnO基电光谐振器中，采用了有源环形谐振器和标准具。泵将由Y型转向Koppler，泵将由Koppler转向Koppler。

Ziel des Vorhabens ist der Aufbau, die Realisierung und Charakterisierung eines integrierten optisch gepumpten abstimmbaren Ringlaser-Systems auf Basis von integriert optischen Wellenleitern auf Silizium mit dotiertem, Saphir-ähnlichem Wellenleiterkern. Dazu sollen Al2O3-Wellenleiterschichten aus einer metallorganischen Verbindung im PECVD-Prozess quasiepitaktisch auf einer zuvor in gleicher Weise auf thermisch oxidiertem Silizium niedergeschlagenen und anschließend durch RTP-Tempern zu Saphir-ähnlicher Morphologie kristallisierten Aluminiumoxidschicht abgeschieden werden. Auf diese Weise können die Wellenleiter simultan mit Übergangs- und Seltenen-Erden-Metallen wie Titan, Chrom und Erbiun aus metallorganischen Verbindungen optisch aktiv dotiert werden, ohne dass es zur Ausbildung größerer Kristallite und damit erhöhten Streuverlusten kommt. Außer durch den "klassischen" Aufbau als streifenbelastete Wellenleiter im Si02-A1203-Si02-Systein lassen sich Streifenwellenleiter durch lokales Abdecken dieser Saatschicht z.B. mit Si02 und lokaler Quasi-Epitaxie unterschiedlicher Geometrie ohne eine u.U. schwierige Strukturierung von kristallinem A1203 realisieren. Die Ausbreitung der optischen Energie nur in einer Ringrichtung wird durch eine asymmetrisch versetzte Aneinanderreihung von Kreissegmenten, eine "Klinkenradstruktur", erreicht, die die nach außen gedrängten Felder nur in eine Richtung verlustarm überkoppelt. Die Polarisation wird durch bereichsweise Abdeckung der Wellenleiter mit metallischen Schichten auf TM beschränkt. Zur Abstimmung des Lasers sind alternativ auf Membranen angeordnete, mikromechanisch auf Basis des elastooptischen Effekts gekoppelte Ringresonatoren bzw. elektro-optisch verstimmbare auf ZnO-Basis vorgesehen sowie im Zug des aktiven Ringresonators liegende ebenfalls elektro-optisch verstimmbare Etalons. Die Pumpleistung wird vorzugsweise über Y-Verzweigungen zu, die Ausgangsleistung über Koppler abgeführt.