Diffusion high vacuum pump with integrated pressure monitoring in microsystem technology

采用微系统技术集成压力监控的扩散高真空泵

• 批准号: 5401366
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrosystemtechnik E-7
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2002-12-31 至 2007-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5401366?language=en
• 关键词: Diffusion; vacuum; pump; integrated; pressure

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, die Realisierung und die Untersuchung einer Hochvakuumpumpe in Mikrosystemtechnik, die auf dem Prinzip der Treibmittelpumpe arbeitet, im Makroskopischen eines der klassischen Hochvakuum-Pumpsysteme. Aufgrund der Venneidung von bewegten Teilen und der Nutzung der Eigenschaften der laminaren Strömungsausbildung in Mikrokanälen lassen sich damit langzeitstabile Pumpsysteme aufbauen, mit denen der Druckbereich von Norinaldruck bis unter lPa zugänglich sein wird. Als Treibmittel können die auch in makroskopischen Systemen eingesetzten synthetischen Öle benutzt werden, insbesondere niederviskose Medien. Aufgrund der Realisierung in anodisch gebondeter, hermetisch dichter Silizium-Glas-, ggf. auch einer dem LIGA-Verfahren verwandten MetallGlas-Technologie lassen sich die Systeme hochvakuumdicht auch bei großen thermischen Gradienten verschließen und die beheizten und gekühlten Bereiche eines solchen Systems wirksam thermisch entkoppeln, so dass auf engstem Raum und mit sehr kleinen Heizleistungen hohe Pumpraten erwartet werden. Unter Ausnutzung der Kapillarkräfte des Treibmittels auf geeignet dimensionierten und beschichteten Rückflusskanälen ist auch eine sichere Abdichtung zwischen Hoch- und Niederdruckseite möglich. Aufgrund des vorgesehenen Aufbaus sind diese Systeme technologisch auch mit typischen Mikroanalysesystemen kompatibel. Sie lassen sich mehrfach in der Ebene parallel oder in Kaskade realisieren und betreiben und damit auf die spezifischen Anforderungen solcher Mikrosysteme bezüglich Saugleistung und Druck anpassen. Falls erforderlich kann außerdem auf der Hochdruckseite z.B. eine Membranpumpe in kompatibler Technologie integriert und so das Kompressionsverhältnis weiter gesteigert werden. Integriert in das Pumpsystem wird auf der Hoch- und der Niederdruckseite jeweils ein Druckmesssystem auf Basis eines Wärmeleitungsdetektors, um so ohne weitere Peripherie und Totvolumina eine Druck- und Funktionskontrolle zu gewährleisten.

该系统是一种新型的真空泵系统，它的实现和微系统技术中真空泵的研究，是基于三泵原理的真空泵系统。在Mikrokanälen中，通过对层压结构进行改进和对层压结构进行调整，可以使泵系统保持稳定，并通过对Norinaldruck的Druckbereich bis unter lPa zugänglich sein wird。Als Treibmittel können die auch in makroskopischen Systemen eingesetzten synthetischen Öle benutzt韦尔登，insbesondere niederviskose Medien. Aufgrund der Realisierung in anodisch gebondert，hermetisch dichter Silizium-Glas-，ggf.也有一个LIGA-Verfahren verwandten Metallurgie-Technologie lassen sich die Systeme hochvakuumbert auch beach großen thermischen plenten verschließen and die beheizten and gekühlten Bereiche eines solchen Systems hochvakuumbert auch thermisch entkoppeln，so dass auf engstem Raum and mit sehr kleinen Heizleistungen hohe Pumpraten韦尔登. Unter Ausnutzung der Kapillarkräfte des Treibmittels auf geeignet dimensionierten und beschichteten Rückflusskanälen ist auch eine sichere Abstitutung zwischen Hoch- und Niederdruckseite möglich.该系统技术也可与典型的微分析系统相结合。Sie lassen sich mehrfach in der Ebene parallel or der in Kaskade realisieren and betreiben and damit auf die spezifischen Anforderungen solcher Mikrosysteme bezüglich Saugleistung und Druck anpassen.福尔斯可以在高水位上进行排水。一个膜泵在kompatibler技术integriert和这样das压缩verhältnis weiter gesteigert韦尔登。泵系统的集成将在Hoch-和Niederdruckseite珠宝上形成一个基于Wärkenitungsdetektors的Druckmesssystem，因此，所有外围设备和总体积都是一个Druck-和Funktionskontrolle zu gewährleisten。