Infrared metrology based on silicon wave guides for environment monitoring

前视系统是一个集成的红外光学系统，它的实现和研究需要一个几何形状的近距离测量系统，该系统相对于测量系统的实际聚焦反射镜具有更好的测量精度。该系统基于硅材料的体积微机械原理，其中等离子体的自由流动具有集成光学红外线结构，其特征在于吸收4µm和9µm的吸收气体。Die aufgrund der guten Führung in solchen Wellenleitern möglichen geringen Krümmungsradien und die leinen Wellenleiterquerschnitte ermöglichen eine spiralförmige Führung des Lichtweges，so daumauf sehr leinen Flächen lange Absorptionswege erzielt韦尔登韦尔登könen.在此期间，我们的Nachteile得到了IR-Gasmeßsysteme，相对大的几何放大和高的Montage- und Justieraufwand vermeiden。将红外探测器的红外探测系统与健康监护仪进行集成，形成一个完整的红外测量系统，该系统可以韦尔登。

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, die Realisierung und Untersuchung eines integriert-optischen Infrarot-Meßsystems, das die solchen Systemen bisher inhärenten Nachteile einer geometrisch langen kollimierten Meßstrecke mit relativ aufwendig zu realisierenden fokussierenden Spiegeln zur Faltung des Meßstrahlenganges vermeidet. Das Meßsystem basiert auf in oberflächennaher Volumen-Mikromechanik aus Silizium mit Hilfe von Plasmaätzverfahren freitragend herausstrukturierten integriert optischen Infrarotwellenleitern, deren evaneszente Felder mit charakteristischen Absorptionen von Schadgasen im Bereich von 4µm und 9µm wechselwirken. Die aufgrund der guten Führung in solchen Wellenleitern möglichen geringen Krümmungsradien und die kleinen Wellenleiterquerschnitte ermöglichen eine spiralförmige Führung des Lichtweges, so daß auf sehr kleinen Flächen lange Absorptionswege erzielt werden können. Damit lassen sich die wesentlichen Nachteile gegenwärtiger IR-Gasmeßsysteme, die relativ großen geometrischen Dimensionen und der hohe Montage- und Justieraufwand vermeiden. Durch Integration der Strahlungsquelle mit dem Wellenleiter an seinem Ausgang und Ankopplung einer IR-Detektorzeile soll das System zu einem vollständig integrierten IR-Meßsystem erweitert werden.