Gas-Injektor für Mikroanalyse-Systeme

用于微量分析系统的气体注射器

• 批准号: 20498373
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrosystemtechnik E-7
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2004-12-31 至 2009-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/20498373?language=en
• 关键词: Gas; Injektor; Mikroanalyse; Systeme

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, Aufbau und die Charakterisierung eines neuartigen Gasinjektionssystems für die Mikroanalyse in Gasanalysesystemen auf Basis eines mikrostrukturierten Schlittens mit vergrabenen Gaskanälen für Anwendungen in der Gaschromatographie, der Massenspektrometrie, Flammenionsationsdetektion oder -spektrometrie. Dieser Schlitten verbindet die zuführenden Kanäle für Proben- und Trägergase mit den abrührenden für die Injektion in den Analysator bzw. in den Abgaskanäle, die in einer Silizium-Glas-Struktur realisiert sind, über geeignet verzweigte bzw. z.B. in Schlaufen oder Mäandern verlaufende vergrabene Kanäle, die durch eine Abfolge von anisotroper und isotroper Ätzung in Silizium und anschließendem Verschluss in einem CVD-Verfahren erzeugt werden. Zur Abdichtung und Minimierung der Reibung bei der Bewegung werden durch Plasmapolymerisation konform abgeschiednen PTFE-Schichten verwendet, die für die auf dem Split-Prinzip beruhenden Injektion eine hinreichende Dichtigkeit der Übergänge gewährleisten und aufgrund ihrer hohen Vernetzung keinen Memoryeffekt aufweisen. Zum Antrieb des Schlittens sollen unterschiedliche Verfahren untersucht werden, neben den in der Mikrosystemtechnik üblichen, allerdings sehr voluminösen piezoelektrischen Antrieben zwei neuartige Antriebe: einen pneumatische Antrieb mit integrierten Membranventilen sowie einen symmetrischen Bi-Metallantrieb mit aus der Vertikalen umgelenkten Bewegungsrichtung, jeweils kombiniert mit Federstrukturen aus Silizium zur Rückstellung. Neben umfassenden Neuentwicklungen und Untersuchungen bezüglich der Strukturen und dafür nutzbaren Technologien für solche Systeme sind besonders umfangreiche Simulationen zu den Bewegungsabläufen und erforderlichen Kräften für die Bewegung des Schlittens, den Strömungsverhältnissen an den Schnittstellen zwischen Schlitten und den Zuführungskanälen sowie den neuartigen Antriebe durchzuführen und anhand der experimentellen Ergebnisse zu verifizieren.

主人公是第一个在Gasinjektions世界中死亡的人，这是Gasinjektions的最常见来源，这是Gasinjektions的最常见来源，这是Gasholontography的最常见来源，而Gaschromography是最常见的来源，而Gashromatography则是Gashromography的另一端，以及Massenspektrometies的另一端。 Mit DenAbrührendenFürDie Injektion在Den Analysystor BZW。在Denabgaskanäle中，死于Einer Silizium-Glas-Struktur realisiert Sind，überGeeignetverzweigte bzw. Z.B.在schlaufenodermäandernverlaufende vergrabenekanäle中，在silizium undanschließendemeinem cvd-verfahren erzeugt werden的silizium undanschließendemvon die durch eine abfolge von anisotroper und同进Zur Abdichtung und Minimierung der The Bewegung Werden Durch Plasma Polymerisation Konforms abgeschiednen PTFE-Schichten verwendet, die für die auf dem Split-Prinzip Belluhenden Dichtigkeit der Übergänge gewährleisten und aufgrund ihrer vernetzung keinen Memoryefekt Aufweisenen。 Zum antrieb des Schlittens Solren unterschiedliche verfahrren unterscht Werden，der Mikrosystemtechnik在公众中的Neben den，Neben den，向公众交易的是，那些已经通过了国家的努力来满足国家的需求的正直，那些国家的需求通过了国家的融合，这是通过了国家的融合者的需求。 Bewegungsrichtung，Jeweils Kombiniert Mit Federstrukturen Aus siliziumZurRückstellung。模拟系统的初学者基于schlittens的仿真，Schlittens以及Schlittens，而Schlittens则是在Schlittens过程中的模拟，而Schlittens则是在Neuralgia的过程中。