Gas-Injektor für Mikroanalyse-Systeme

用于微量分析系统的气体注射器

• 批准号: 20498373
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrosystemtechnik E-7
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2004-12-31 至 2009-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/20498373?language=en
• 关键词: Gas; Injektor; Mikroanalyse; Systeme

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, Aufbau und die Charakterisierung eines neuartigen Gasinjektionssystems für die Mikroanalyse in Gasanalysesystemen auf Basis eines mikrostrukturierten Schlittens mit vergrabenen Gaskanälen für Anwendungen in der Gaschromatographie, der Massenspektrometrie, Flammenionsationsdetektion oder -spektrometrie. Dieser Schlitten verbindet die zuführenden Kanäle für Proben- und Trägergase mit den abrührenden für die Injektion in den Analysator bzw. in den Abgaskanäle, die in einer Silizium-Glas-Struktur realisiert sind, über geeignet verzweigte bzw. z.B. in Schlaufen oder Mäandern verlaufende vergrabene Kanäle, die durch eine Abfolge von anisotroper und isotroper Ätzung in Silizium und anschließendem Verschluss in einem CVD-Verfahren erzeugt werden. Zur Abdichtung und Minimierung der Reibung bei der Bewegung werden durch Plasmapolymerisation konform abgeschiednen PTFE-Schichten verwendet, die für die auf dem Split-Prinzip beruhenden Injektion eine hinreichende Dichtigkeit der Übergänge gewährleisten und aufgrund ihrer hohen Vernetzung keinen Memoryeffekt aufweisen. Zum Antrieb des Schlittens sollen unterschiedliche Verfahren untersucht werden, neben den in der Mikrosystemtechnik üblichen, allerdings sehr voluminösen piezoelektrischen Antrieben zwei neuartige Antriebe: einen pneumatische Antrieb mit integrierten Membranventilen sowie einen symmetrischen Bi-Metallantrieb mit aus der Vertikalen umgelenkten Bewegungsrichtung, jeweils kombiniert mit Federstrukturen aus Silizium zur Rückstellung. Neben umfassenden Neuentwicklungen und Untersuchungen bezüglich der Strukturen und dafür nutzbaren Technologien für solche Systeme sind besonders umfangreiche Simulationen zu den Bewegungsabläufen und erforderlichen Kräften für die Bewegung des Schlittens, den Strömungsverhältnissen an den Schnittstellen zwischen Schlitten und den Zuführungskanälen sowie den neuartigen Antriebe durchzuführen und anhand der experimentellen Ergebnisse zu verifizieren.

在气体分析系统的基础上，从气体分析的基础上分析了气体的性质，分析了气体的性质，分析了气体分析的方法。Dieser Schlitten Verbrenden Kanährenden Kanährenden Kanär Proben-und Trägergase MIT den abrührenden für die Injektion in den Analysator bzw，die in einer Silizium-Glas-Strukturrealisiert sind，über geeignet verzweigte BZW.z.B.in Schlafen oder Mäandern verlafende vergrabene Kanäle，die dch eine Abfolge von And Isotroper in Silizium and chlie be chendem Verschluss in einem Cvd-Verhfaren Realisiert Sind，über geeignet verzweigte BZW.z.B.in Schlafen oder Mäandern verlafende vergrabene Kanäle，die ddch eine Abfolge von And Isotroper in Silizium and chlie chendem Verschluss in einem Cvd-Verhfaren Realisiert Sind，über geeignet verzweigte BZW.z.b.在PTFE-Schichten版本的等离子体聚合过程中，我们使用了最小的尺寸和最小的尺寸，并在此基础上设计了一种新的工艺。您的位置：我也知道>教育/科学>教育/科学>技术领域，所有的过敏症都在我的脑海里，过敏症的数量很大，而且不会引起任何人的过敏。这是一项新的技术体系和技术体系的研究和开发，其主要目的是提供一种新的技术体系。