Fokussierendes integriert-optisches Transmissionsgitter als Wellenlängendemultiplexer

Zil des Vorhabens ist der Entwurf，die Realisierung and Untersusuung eines Ingrert-optischen Wellenlängen-Decplexers für die Optische Nachrichtentechnik Als Mikrosystem auf einem Silizium subsubat.该系统的基本原理是：传输速度计、数据采集系统。在Einem PECVD-Proze？Aus金属组织Verbindungen，MIT einem Einem Effektiven Index um 1.5 realisiert中，我们已经得到了1.55微米的Als SiO_2-Al_2O_3-Wellenleiter。变速箱的传动量不是20个数字，而是由氧化铝-二氧化钛制成的薄膜，效率指数为2.他妈的L？Zur Fokkussierung是不同的，因为它是GGF的。在分离的Wellenleiter Einelleiter Einzelnen Kanäle Aus Dm Gitter中生成了SiO_2-Al_2O_3-薄膜发光材料。Baulänge和Ausleuchtung des Gitters MIT并行许可das licht des Eingangswellenleiters in einem mehrfach gefalteen，endch dielektrische Spiegel reflektierten Strahlong ang aufgeweitet and Schlie？lich in einem dielektrischen pareleegel parallelisiert.最好的办法是提高效率，提高系统效率。这是一个周期性的过程，从一个相对独立的过程中找到了一种新的方法。在Einem späteren Zeitpenkt könnte auüerdem der Tio2-Wellenleiter SE-dotiert中，因此在Diesem Bereich Gleichzeitig eine Optische Vorverstärkung erfolgen könnte中。

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, die Realisierung und Untersuchung eines integriert-optischen Wellenlängen-Demultiplexers für die optische Nachrichtentechnik als Mikrosystem auf einem Siliziumsubstrat. Dieses System basiert auf einem selbstfokussierenden Transmissionsgitter-Spektrometer, das als Filmwellenleiterstruktur zwischen dem integriert optischen streifenbelasteten Eigangswellenleiter und den der Kanalzahl entsprechenden Anzahl von Ausgangswellenleitern eingefügt ist. Die streifenbelasteten Wellenleiter werden zum Erreichen geringer Dämpfung bei 1.55 µm als SiO2-Al2O3-Wellenleiter, abgeschieden in einem PECVD-Prozeß aus metallorganischen Verbindungen, mit einem effektiven Index um 1.5 realisiert. Um den für das Transmissionsgitterspektrometer notwendigen hohen Indexsprung zu erhalten, besteht der Filmwellenleiter aus einem Al2O3-TiO2-Wellenleiter mit einem effektiven Index nahe 2. Damit läßt sich eine hohe Dispersion des Gitters erreichen. Zur Fokkussierung werden die einzelnen Gitterzähne so variiert, daß eine Fokusebene, ggf. auch eine gekrümmte Fokusfläche entsteht, an der die einzelnen Kanäle aus dem Gitter folgenden SiO2-Al2O3-Filmwellenleiter in separate Wellenleiter eingekoppelt werden. Zur Verringerung der Baulänge und Ausleuchtung des Gitters mit parallelem Licht wird das Licht des Eingangswellenleiters in einem mehrfach gefalteten, durch dielektrische Spiegel reflektierten Strahlengang aufgeweitet und schließlich in einem dielektrischen Parabolspiegel parallelisiert. Aufgrund der konzentrierten und für den engen Spektralbereich optimierten Blazewinkel des Gitters sind eine hohe Effektivität, geringe Verluste und insbesondere wegen der niedrigen Beugungsordnung eine vernachlässigbare kleine Temperaturabhängigkeit dieses Systems zu erwarten. Da außerdem die Gitterstruktur nahezu rein periodisch ist, sind auch Fertigungstoleranzen relativ unkritisch und die Herstellung erfordern nur eine klassische Photolithographie und Plasmaätztechnik. In einem späteren Zeitpunkt könnte außerdem der TiO2-Wellenleiter SE-dotiert werden, so daß in diesem Bereich gleichzeitig eine optische Vorverstärkung erfolgen könnte.