Entwicklung eines elektromagnetisch erregten und getaktet arbeitenden Relativbeschleunigungssensors nach dem Ferraris-Prinzip in integrierter Form

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Relativbeschleunigungssensoren nach dem Ferraris-Prinzip werden seit einiger Zeit als Produkt angeboten. Mehrere Hersteller von Antriebsreglern haben Produktlinien entwickelt, die in der Lage sind, das Analogsignal eines Ferraris-Sensors auszuwerten und in die Regelung einzubinden. Eingesetzt werden Ferraris-Sensoren unter anderem in Antrieben mit sehr hohen Anforderungen an die Gleichlaufgüte, wie zum Beispiel in Druckmaschinen. In Verbindung mit Direktantrieben - linear und rotatorisch - kann mit Hilfe des Ferraris-Sensors die dynamische Störsteifigkeit und damit die Bearbeitungsgenauigkeit von Werkzeugmaschinen wesentlich gesteigert werden 191. Nachteilig wirkt sich die begrenzte Bandbreite des Ferraris-Sensors aus, die unter anderem durch Störeinflüsse verursacht wird. Die bei heutigen Sensoren erzielbare Bandbreite ist für viele Anwendungsfälle zu niedrig. Beim neuen Ansatz des Ferraris-Sensors ersetzt eine elektromagnetische Wechselerregung die Permanentmagnete. Bei der Auswertung des Sensorsignals lassen sich durch eine harmonische Anregung Vorteile hinsichtlich der Störunterdrückung und insbesondere bei der Bandbreite des Sensors erzielen. Zudem bieten sich Chancen für eine Miniaturisierung des Sensors. Eine Miniaturisierung eröffnet die Möglichkeit der Integration des Ferraris-Sensors in optische Geber.