プラズマプロセスによる有機-金属多層系高分子薄膜の構造制御とヘテロ界面機能

等离子体工艺有机金属多层聚合物薄膜的结构控制和异质界面功能

• 批准号: 63604510
• 负责人: 長田 義仁
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: Ibaraki University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1988
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1988 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-63604510/
• 关键词: プラズマ重合; 有機金属化合物; チタニウムイソプロポキシド; ガスセンサー

有機金属化合物をプラズマエネルギーによって高分子化すると同時に金属との自己組織化、高次構造化を行ない、それに基づく新規な機能材料の合成を目的としている。我々は昨年までに銅アセチルアセトナート(CuAA)をプラズマ重合することによって金属-有機多相高次構造を有する薄膜が得られ、これらの薄膜は光伝導、スイッチング、負性抵抗電子線パターンの形成など多彩な機能を持つことを明らかにした。またテトラシアノキノジメタンの重合により、二次元大環状高分子錯体を合成し、その電気的性質を調べた。本年度は、チタニウムテトライソプロポキシドのプラズマ重合膜を合成し、光電気および光触媒能について検討した。チタニウムテトライソプロポキシドのプラズマ重合膜の電導度は、重合時間、プラズマ出力に大きく依存する。酸素を注入しないで重合した膜は、重合時間15分、プラズマ出力20Wでは10^<-8>S/cmという低電導性であるが、重合時間15分、プラズマ出力35W以上では10^0〜10^2S/cmという高電導性であった。121K〜286Kにおける抵抗を測定した結果、この膜の電気伝導の活性化エネルギーは0.12eVであり、またn型半導体としての整流特性を示した。重合した膜は、アモルファスであるが、500℃、15分のアニーリングにより多結晶状態(ルチル型)へと変化することが、電子線回折パターンよりわかった。また重合時間30分の重合膜のアニーリング後の光電流値は18uAであり、アニーリング前と比較すると約2.5倍増加した。さらに特定の有機ガスを吸着し燃焼型ガスセンサーに応用できることを明らかにし、得られたプラズマ重合膜をESCAによって解析した。

Organometal compounds can be synthesized by polymerization, self-organization, high-order structuring, and synthesis of functional materials. In the past year, the CuAA film has been successfully fabricated by metal-organic multiphase high-order structure. The CuAA film has been successfully fabricated by photoconductivity, negative resistance to electron beam formation, and colorful function. The properties of two-dimensional macrocyclic polymer complexes and their electrical properties are modulated. This year, we will discuss the synthesis of thin films, photocatalysts and photocatalysts. The electrical conductivity of the film depends on the time and force of the film. Acid injection time is 15 minutes, power is 20 W, low conductivity is 10 ^S/cm, time is 15 minutes, power is more than 35 W, high conductivity is 10 ^0~10 ^2S/cm.<-8>The results of resistance measurement at 121 K~286 K, activation of electrical conduction of this film, and rectification characteristics of n-type semiconductor are shown. Overlapping film is in the state of polycrystalline (single crystal type) at 500 ℃ for 15 minutes. The photocurrent value after the overlap time of 30 minutes is about 2.5 times higher than that before the overlap time. A specific organic substance is used in the analysis.

项目成果

Y.Osada;Y.Kagami: J.Appl.Phys.

Y.Osada；Y.Kagami：J.Appl.Phys。

Y.Osada;Q.S.Yu;H.Yasunaga;Y.Kagami: J.Polym.Sci; Part A Chem.Ed.,in press(1989).

Y.Osada;Q.S.Yu;H.Yasunaga;Y.Kagami: J.Polym.Sci;

長田義仁,鏡好晴: 熱硬化性樹脂. 9. 19-27 (1988)

Yoshihito Nagata、Yoshiharu Kagami：热固性树脂。9. 19-27 (1988)

Y.Osada;Q.S.Yu;H.Yasunaga: J.Appl.Phys.64. 1476-1483 (1988)

Y.Osada；Q.S.Yu；H.Yasunaga：J.Appl.Phys.64。

長田義仁,高瀬三男: 化学工学. 52. 29-32 (1988)

Yoshihito Nagata，Mitsuo Takase：化学工程。52. 29-32 (1988)。