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Development of sample preparation methods for atom probe microanalysis

Development of sample preparation methods for atom probe microanalysis
原子探针微量分析样品制备方法的开发
批准号：
02555002
负责人：
SAKURAI Toshio
金额：
$10.24万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
财政年份：
1990
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1990 至 1991
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-02555002/
关键词：
atom probeFIMAPFIMfield ion microscopy針状試料アトム・プロ-ブFIM

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In order to apply the atom probe technique to the nanoscale analysis of atypical specimens such as thin film specimen and non-metallic materials, FIM tip preparation methods were developed. By a combination of photolithography and micro-electropolishing, we have established a routine method for preparing FIM tips from metallic thin films. At the same time, we have developed an ion milling aperatus, which can sharpen non-metallic wires to sharp FIM tips. By these methods, wide variety of specimens such as magnetic thin films, grain boundaries were successfully analyzed by the atom probe technique. The evaluation of the ion milling method for preparing semiconductor tips is now in progress.
期刊论文(23)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
K.Hono,K.Hiraga,Q.Wang,A.Inoue and T.Sakurai: "The microstructure evolution of Fe73.5Si13.5B9Nb3Cu1 nanocrystalline soft magnetic material" Acta Metall.Mater. 40. 2137-2147 (1992)
K.Hono、K.Hiraga、Q.Wang、A.Inoue 和 T.Sakurai：“Fe73.5Si13.5B9Nb3Cu1 纳米晶软磁材料的微观结构演化”Acta Metall.Mater。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
K.Hono,Y.Maeda,J-L.Li and T.Sakurai: "Atom probe analysis of sputtered Co-Cr magnetic thin film" Appl.Surf.Sci.(1993)
K.Hono、Y.Maeda、J-L.Li 和 T.Sakurai：“溅射 Co-Cr 磁性薄膜的原子探针分析”Appl.Surf.Sci.(1993)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
K.Hono: "“The microstructure evolution of FeSiBNbCu nanocrystalline soft magnetic material,"" Acta Metall.(1992)
K.Hono：“FeSiBNbCu 纳米晶软磁材料的微观结构演变”，《金属学报》(1992)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
K.Hono,N.Hasegawa,S.S.Babu,H Fukimori and T.Sakurai: "Atom probe analysis of nanocrystalline FeTaC sputtered soft magnetic thin film" Appl.Surf.Sci.(1993)
K.Hono、N.Hasekawa、S.S.Babu、H Fukimori 和 T.Sakurai：“纳米晶 FeTaC 溅射软磁薄膜的原子探针分析”Appl.Surf.Sci.(1993)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 23 条
    Research on the Development from the Castle Lordship to the Local Administrative Organisation of Territory in the German Middle Ages
    • 批准号：
      23530007
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.0万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      SAKURAI Toshio
    • 依托单位：
      Kanazawa University
    Study in the chatellenie (Castle Dominion) of the German Feudal Society in the High Middle Ages
    • 批准号：
      19530003
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.08万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      SAKURAI Toshio
    • 依托单位：
      Kanazawa University
    A BASIC STUDY ON THE PROCESS OF ESTABLISHMENT OF RAFTER-SYSTEM IN THE EDO PERIOD
    Property control of semiconductor nanostructure using surface strain as a new parameter
    • 批准号：
      18201015
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $34.28万
    • 财政年份：
      2006
    • 负责人：
      SAKURAI Toshio
    • 依托单位：
      Tohoku University
    国内基金
    海外基金
    拟南芥CKL2磷酸化微丝成束蛋白FIM1响应干旱胁迫应答的机理研究
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      54万元
    • 批准年份：
      2022
    • 负责人：
      赵双双
    • 依托单位：
      山东师范大学
    稀释合金中沉淀相结构FIM--Ap研究
    • 批准号：
      58670281
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      2.5万元
    • 批准年份：
      1986
    • 负责人：
      任大刚
    • 依托单位：
      中国科学院金属研究所