课题基金 / 基金详情

暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究

暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究
暗场环形光学系统硅片加工表面缺陷测量研究
批准号：
13750099
负责人：
高橋 哲
金额：
$1.34万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2001
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2001 至 2002
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-13750099/
关键词：
Siウエハ欠陥検査表面欠陥付着異物暗視野輪帯光学系光散乱パターンレーザ応用計測インプロセス計測

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项目成果

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本年度は,前年度で設計した暗視野輪帯光学系を組み込んだ基礎実験光学系を構築し,様々な微小欠陥に対する基礎データを取得,さらには従来手法では検出が困難な多層配線構造を持つ薄膜表面の欠陥検出実験を試み,以下のような研究成果が得られた.(1)暗視野輪帯光学系を用いた基礎実験光学系の構築光源として,可視域短波長発振レーザの一つであるArイオンレーザ(スペクトラフィジクス(株)製spinnaker)の488nmの発振線を用い,冷却式高感度デジタルCCD(Roper Scientific(株)製CoolSNAP fX),フーリエ変換像伝搬用リレーレンズ,ならびに前年度に試作した全方向輪帯集光スポット照射系を組み込んだ基礎実験装置を構築した.以上の構成により,広角度(マイナス2μmのデフォーカスセッティングにおいて約130度幅内の散乱光分布を取得可能)にわたる散乱光分布を一括して三次元データとして取り込むことが可能であることを確認した.(2)Siウエハ加工表面欠陥計測基礎実験およびAFM(原子間力顕微鏡)による検証上述の実験装置を用いて,提案手法の有効性について実験的に検討を行った.まず,FIB加工によりベアウエハ上に擬似的に作製した溝状欠陥に対する散乱光検出実験により,本実験装置の欠陥検出基本特性を調査した.そして,多層配線構造を持つ薄膜表面の欠陥検出実験を試み,検出欠陥のAFMによる同定を行った.その結果,本手法により,従来手法では検出が困難だったSiO_2薄膜上の深さ10nmという超微小スクラッチの検出が可能であることが確認された.
期刊论文(8)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya: "New optical measurement technique for Si wafer surface defects using darkfield optical system with annular laser beam"Proceedings of 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent
高桥悟、三好隆、高谷泰宏：“利用环形激光束暗场光学系统进行硅片表面缺陷的新型光学测量技术”第五届国际测量技术与智能研讨会论文集
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
阿部崇広, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲: "暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第3報)-暗視野検出部の改善-"2001年精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 大阪. 631-631 (2001)
Takahiro Abe、Takashi Miyoshi、Hirohiro Takatani、Satoshi Takahashi：《利用暗场环形光学系统进行硅晶圆加工表面缺陷测量的研究（第3次报告）-暗场检测部分的改进-》2001年精密工程学会论文集秋季学术会议。631-631（2001）
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
吉崎大輔, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲: "暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第2報)-高感度検出法の検討-"2001年精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 東京. 555-555 (2001)
Daisuke Yoshizaki、Takashi Miyoshi、Hirohiro Takatani、Satoshi Takahashi：“利用暗场环形光学系统进行硅晶片加工表面缺陷测量的研究（第2次报告）-高灵敏度检测方法的检验-”2001年精密工程学会论文集东京春季学术会议。555-555（2001）
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Ha, T.Miyoshi, Y.Takaya, S.Takahashi: "Evaluation of Microdefects on SiO_2 Filmed Wafer Surface form the Scattering Light"Proceedings of the 3rd International Conference and 4th General Meeting of the european society for precision engineering and nanot
T.Ha、T.Miyoshi、Y.Takaya、S.Takahashi：“Evaluation of Microdefects on SiO_2 Filmed Wafer Surface form the Scastering Light”欧洲精密工程与纳米学会第三届国际会议暨第四届会员大会论文集
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 8 条
    教員の「職務の特殊性」を反映した勤務時間管理の制度モデルに関する国際比較研究
    • 批准号：
      23K25620
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $6.32万
    • 财政年份：
      2024
    • 负责人：
      高橋 哲
    • 依托单位：
      Osaka University
    次世代機能デバイス実現のための高品位・超高アスペクト比微細穴加工システムの開発
    • 批准号：
      23K22643
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $1.41万
    • 财政年份：
      2024
    • 负责人：
      高橋 哲
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    A Comparative Research on Teacher Working Hour Models Based on the Professional Autonomy
    • 批准号：
      23H00923
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.82万
    • 财政年份：
      2023
    • 负责人：
      高橋 哲
    • 依托单位：
      Osaka University
    Development of the "Litigation Practice Model" for Education Policy Making through the Courts in the U.S. and Japan
    • 批准号：
      22KK0215
    • 项目类别：
      Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research (A))
    • 资助金额：
      $9.9万
    • 财政年份：
      2023
    • 负责人：
      高橋 哲
    • 依托单位：
      Osaka University (2023)Saitama University (2022)
    海外基金