Development of a super-resolution stochastical optical reconstruction raman microscope for online nanoscale electronic and photonics devices quality control.

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Ce projet de recherche vise à développer de nouvelles techniques optiques afin de suivre la fabrication en ligne de composants électroniques et optoélectroniques à haute valeur ajoutée. L'intégration d'éléments de taille toujours plus réduites induit de nombreux artefacts qui réduisent le taux de succès de fabrication de ces microprocesseurs ou qui induisent des performances moindres. Par conséquent, toute méthode permettant d'identifier rapidement des défauts de structure ou de connexion avec une résolution spatiale proche des tailles d'intégration couramment utilisées dans les processeurs les plus avancés. Dans ce cadre, la microscopie Raman alliant les méthodes de reconstruction stochastiques (STORM) offre une résolution spatiale proche de 20 nm ce qui est idéale pour l'analyse des matériaux nanostructurés formant le coeur des circuits intégrés. En particulier, la microscopie Raman-STORM est bien adaptée à l'étude de matériaux à base de silicium, germanium ou de matériaux plus avancés tels que graphène, nanotubes de carbone ou encore des encres moleculaires pour l impression 2D de circuits electroniques. L integration de ces materiaux avancés dans des circuits electroniques est un challenge important pour le développement de électronique du futur et de ses applications dans de nombreux domaines.