Gas-Injektor für Mikroanalyse-Systeme

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, Aufbau und die Charakterisierung eines neutigen gasinjetionssystems; r die microanalyse in gasanalysissystem; r die microanalyse in gasanalysissystem; r die microstruckturierten Schlittens mit vergrabenen Gaskanälen； r Anwendungen in der气相色谱，der massenspectrometer, flammenionsings，检测der - spectroscopy。Dieser Schlitten verindet die zuf<s:1> hrenden Kanäle f<e:1> r Proben- und Trägergase mit den abrhrenden f<e:1> in den analyzer模具进样bzw。in den Abgaskanäle, die in iner silica - glass - struckturr realisiersic, ber geeiget verzigte bzw。z.B. in Schlaufen oder Mäandern verlaufende vergrabene Kanäle， die durch eine Abfolge von各向异性和各向同性Ätzung in Silizium and anschließendem Verschluss in einem CVD-Verfahren erzeugt werden。Zur abetchtung和Minimierung der Reibung der beweung werden durh血浆聚合一致性abgeschiednen聚四氟乙烯- schichten verwendet， die f8r die aufdem分裂-原理beruhenen注射e8rechchende Dichtigkeit der Übergänge gewährleisten and Vernetzung keinen记忆效应aufweisen。1 .研究对象：1 .研究对象：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料：材料。Neben unfassenden Neuentwicklungen und Untersuchungen bezellenderstruckturen and datafichen technology . (<s:1>) solche system .（系统）和（系统）.（系统）.（系统）模拟（系统）.（系统）.（系统）.（系统）.（系统）.（系统）.（系统）。

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, Aufbau und die Charakterisierung eines neuartigen Gasinjektionssystems für die Mikroanalyse in Gasanalysesystemen auf Basis eines mikrostrukturierten Schlittens mit vergrabenen Gaskanälen für Anwendungen in der Gaschromatographie, der Massenspektrometrie, Flammenionsationsdetektion oder -spektrometrie. Dieser Schlitten verbindet die zuführenden Kanäle für Proben- und Trägergase mit den abrührenden für die Injektion in den Analysator bzw. in den Abgaskanäle, die in einer Silizium-Glas-Struktur realisiert sind, über geeignet verzweigte bzw. z.B. in Schlaufen oder Mäandern verlaufende vergrabene Kanäle, die durch eine Abfolge von anisotroper und isotroper Ätzung in Silizium und anschließendem Verschluss in einem CVD-Verfahren erzeugt werden. Zur Abdichtung und Minimierung der Reibung bei der Bewegung werden durch Plasmapolymerisation konform abgeschiednen PTFE-Schichten verwendet, die für die auf dem Split-Prinzip beruhenden Injektion eine hinreichende Dichtigkeit der Übergänge gewährleisten und aufgrund ihrer hohen Vernetzung keinen Memoryeffekt aufweisen. Zum Antrieb des Schlittens sollen unterschiedliche Verfahren untersucht werden, neben den in der Mikrosystemtechnik üblichen, allerdings sehr voluminösen piezoelektrischen Antrieben zwei neuartige Antriebe: einen pneumatische Antrieb mit integrierten Membranventilen sowie einen symmetrischen Bi-Metallantrieb mit aus der Vertikalen umgelenkten Bewegungsrichtung, jeweils kombiniert mit Federstrukturen aus Silizium zur Rückstellung. Neben umfassenden Neuentwicklungen und Untersuchungen bezüglich der Strukturen und dafür nutzbaren Technologien für solche Systeme sind besonders umfangreiche Simulationen zu den Bewegungsabläufen und erforderlichen Kräften für die Bewegung des Schlittens, den Strömungsverhältnissen an den Schnittstellen zwischen Schlitten und den Zuführungskanälen sowie den neuartigen Antriebe durchzuführen und anhand der experimentellen Ergebnisse zu verifizieren.