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Low voltage actuation and control of an electrostatic micromirror

Low voltage actuation and control of an electrostatic micromirror
静电微镜的低压驱动和控制
批准号：
452230-2013
负责人：
AbdelRahman, Eihab
金额：
$1.82万
依托单位：
University of Waterloo
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Engage Grants Program
财政年份：
2013
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-01-01 至 2014-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=540725
关键词：
Lowvoltageactuationcontrolelectrostatic

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
静电微镜是一种有价值的光束导向工具。它们能够实现小而轻的投影系统。其应用的主要障碍是传统静电微镜需要由高压放大器提供的高驱动电压，并且存在拉入（卡下）现象，限制了其工作范围小于最大角位移的44%。
英文摘要
Electrostatic micromirrors are a valuable tool for light beam steering. They enable the realization of small and light weight projection systems. The main hurdle in their utilization is that conventional electrostatic micromirrors require high actuation voltage supplied by high voltage amplifiers and suffer from a pull-in (snap-down) phenomenon that limits their operation range to less than 44 % of maximum angular displacement.
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会议论文
A System for Optical Characterization of Complex MEMS
  • 批准号：
    RTI-2023-00328
  • 项目类别：
    Research Tools and Instruments
  • 资助金额：
    $10.84万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Next Generation Electromechanical Sensors
  • 批准号：
    RGPIN-2022-03343
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.33万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Micro-Electro-Mechanical Sensors and Actuators
  • 批准号：
    RGPIN-2016-04345
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.77万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Intelligent Shims for Aviation Systems
  • 批准号：
    566638-2021
  • 项目类别：
    Alliance Grants
  • 资助金额：
    $5.1万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    AbdelRahman, Eihab
  • 依托单位：
    University of Waterloo
国内基金
海外基金
低功耗集成多级放大器的设计研究
  • 批准号：
    60976028
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    35.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    彭晓宏
  • 依托单位：
    北京工业大学
钙离子不依赖电压依赖型分泌及其内吞的分子机制研究
  • 批准号：
    30970660
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    32.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    张曦
  • 依托单位：
    北京大学
损伤和修复过程中皮层神经元钙稳态调控机制研究
  • 批准号：
    30670500
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    28.0万元
  • 批准年份：
    2006
  • 负责人：
    柴真
  • 依托单位：
    北京大学
功能陶瓷低电压电磁压制成型技术及基础理论研究
  • 批准号：
    50375114
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    24.0万元
  • 批准年份：
    2003
  • 负责人：
    黄尚宇
  • 依托单位：
    武汉理工大学