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Electron Beam Evaporator For Submicron Structures Laboratory

Electron Beam Evaporator For Submicron Structures Laboratory
亚微米结构实验室电子束蒸发器
批准号：
8105650
负责人：
John Melngailis
金额：
$0.0万
依托单位：
Massachusetts Institute of Technology
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1981
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1981-05-01 至 1982-10-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8105650&HistoricalAwards=false
关键词：
ElectronBeamEvaporatorSubmicronStructures

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  • 批准号：
    9603429
  • 项目类别：
    Standard Grant
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    $2.07万
  • 财政年份：
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  • 负责人：
    John Melngailis
  • 依托单位：
    University of Maryland, College Park
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