MOCVD von Strotium-Bismut-Tantalat / Bismut-Tantalat-Niobat - Schichten und ferroelektrische Speicherkondensatoren

锶铋钽酸铋铌酸铋层和铁电存储电容器的 MOCVD

• 批准号: 129002737
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Edmund P. Burte
• 金额: --
• 依托单位: Technische Hochschule Wildau
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2009-12-31 至 2013-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/129002737?language=en
• 关键词: MOCVD; von; Strotium; Bismut; Tantalat

Im Rahmen des beantragten Vorhabens sollen ferroelektrische Aurivillius-Struktur-Schichten bestehend aus Strontium-Bismut-Tantalat – Bismut-Titan-Niobat – Stapelschichten (= SBT/BTN, (SrBi2Ta2O9)/(Bi3TiNbO9)) mit unterschiedlichen Stapelfolgen in einer chemischen Gasphasenabscheidung unter Verwendung eines bereits erprobten SBT-Precursorsystems, welches aus einem bimetallischen Strontium-Tantal-Precursor und Tributylbismut besteht, sowie aus kommerziell verfügbaren Precursoren für Titan und Niob abgeschieden und charakterisiert werden. Aufgrund ihrer veränderbaren permanenten Polarisation, ihrer hohen Dielektrizitätskonstanten, ihrer Zyklusfestigkeit und ihrer pyro- und piezoelektrischen Eigenschaften haben die ferroelektrischen Schichten aus Strontium-Bismut-Tantalat (SBT) ein hohes Anwendungspotential für hoch integrierte, nicht flüchtige ferroelektrische Speicher und Sensor-Aktor-Systeme. Die hinzukommende Bismut-Titan-Niobat (BTN)-Komponente soll aber überdies zu einer Erhöhung der remanenten Polarisation führen, ohne die im Vergleich zu Blei-Zirkon-Titanat überaus positiven Langzeitstabilitätseigenschaften des SBT zu beeinträchtigen. Durch die Erzeugung eines Nanolaminats dieser beiden Materialien wird auch eine Reduzierung des Leckstroms erwartet. An einer vorhandenen, in einem vorhergehenden Projekt optimierten Anlage sollen die Schichtabscheidungsprozesse für diese Stapelschichten entwickelt werden. Die erzeugten Schichten sollen hinsichtlich ihrer chemischen Zusammensetzung in Abhängigkeit von der Prozessführung untersucht werden. Neben der chemischen Zusammensetzung sollen die Mikrostruktur der SBT/BTN-Schichten, die mechanischen und optischen sowie die elektrischen Eigenschaften, insbesondere die ferroelektrischen, der gestapelten Schichten untersucht werden. Zudem werden Funktionsmuster ferroelektrischer SBT/BTN-Speicherkondensatoren charakterisierenden Tests unterworfen.

在铁电材料中使用锶-铋-钽-铋-钛-铌-钛合金的最佳结构（= SBT/BTN，（SrBi2Ta2O9）/（Bi_3 TiNb_（O_9））在SBT-前体体系中的化学反应，以及锶-钽-前体和三丁基铋双金属的化学反应，从商业上看，泰坦和尼奥布的先驱者是韦尔登。Aufgrund ihrer veränderbaren permanenten Polarisation，ihrer hohen Dielektrizitätskonstanten，ihrer Zyklusfestigkeit und ihrer pyro- und piezoelektrischen Eigenschaften haben die ferroelektrischen Schichten aus Strontium-Bismut-Tantalat（SBT）ein hohes Anwendungspotential für hoch integrierte，nicht flüchtige ferroelektrische Speicher und Sensor-Aktor-Systeme. Bismut-Titan-Niobat（BTN）-Komponente soll aber überdies zu einer Erhöhung der remanenten Polarisation führen，ohne die im Vergleich zu Blei-Zirkon-Titanat überaus positiven Langzeitstabilitätseigenschaften des SBT zu beeintächtigen。随后，一种纳米层压材料将被用于减少液晶显示器。在一个最优化的项目中，一个最优化的项目解决了这个Stapelschichten韦尔登的Schichtabscheidungsprozesse问题。在韦尔登中的化学反应必须由化学反应来完成。化学合成解决了SBT/BTN-Schichten的微结构问题，其机理和光学性质是电特性，包括铁电特性，最后得到韦尔登。随后进行了韦尔登功能性铁电SBT/BTN-Speicherkondensatoren特性试验。