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Study on latent scratch detection method of mirror surface by pulse laser

Study on latent scratch detection method of mirror surface by pulse laser
脉冲激光镜面潜划痕检测方法研究
批准号：
16K14126
负责人：
IKENO Junichi
金额：
$2.41万
依托单位：
Saitama University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-16K14126/
关键词：
半導体基板SiCSI潜傷レーザ研磨加工加工変質層評価技術研磨鏡面Si評価法潜傷探査研磨変質層パルスレーザ熱応力光解離半導体ウエハ残留応力鏡面加工研削レーザ加工研削加工

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酸化セリウム砥粒がガラス研磨に及ぼす影響要因に関する研究
氧化铈磨粒对玻璃抛光影响因素的研究
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [佐野侑希, 森　和生, 池野順一, 山田洋平]
通讯作者： 山田洋平
MgOウエハのレーザスライシング加工に関する研究
氧化镁晶片激光切片研究
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [山田洋平, 池野順一, 野口　仁, 鈴木秀樹]
通讯作者： 鈴木秀樹
機能性砥粒を用いたサファイアの鏡面研磨に関する研究
功能磨粒蓝宝石镜面抛光研究
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [篠崎颯典, 遠藤謙太郎, 藤本俊一, 山田洋平, 池野順一]
通讯作者： 池野順一
SiCのレーザスライシング加工における剥離面性状
SiC 激光切片的剥离表面特性
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [山田洋平, 阿部達毅, 浅原浩和, 富士和則, 明田正俊, 池野順一]
通讯作者： 池野順一
共 15 条
    A study on the insulation effect expression of an organic transparent conductive film by the ultra-short pulse laser
    • 批准号：
      25630015
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.58万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      IKENO Junichi
    • 依托单位：
      Saitama University
    Study on an Intelligent laser slicing method of both hard and brittle materials
    • 批准号：
      23656095
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.58万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      IKENO Junichi
    • 依托单位：
      Saitama University
    A new laser micro-machining to add a glass high value
    • 批准号：
      21360058
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $12.48万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      IKENO Junichi
    • 依托单位：
      Saitama University
    Study on New three dimensional laser micro machiing for manufacturing of aspheric lens
    • 批准号：
      14350066
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.54万
    • 财政年份：
      2002
    • 负责人：
      IKENO Junichi
    • 依托单位：
      Saitama University
    国内基金
    海外基金
    高可靠性低损耗 Si IGBT+SiC JFET 串联混合管研究
    • 批准号：
      2026JJ80072
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      曾荣周
    • 依托单位：
      湖南工业大学
    近零膨胀Cf/SiC–Si3N4复合材料的构筑与强韧化
    • 批准号：
      52372095
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      50万元
    • 批准年份：
      2023
    • 负责人：
      赵东林
    • 依托单位：
      西北工业大学
    一次烧结法制备Ti/SiC梯度材料中Mg2Si的同步致密化作用机理研究
    • 批准号：
      52304394
    • 项目类别：
      青年科学基金项目
    • 资助金额：
      30.00万元
    • 批准年份：
      2023
    • 负责人：
      李晶琨
    • 依托单位：
      河北工业大学
    高压原位自生SiC/Al-Si基复合材料组织演变及强化机制研究
    • 批准号：
      2023J01346
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      10.0万元
    • 批准年份：
      2023
    • 负责人：
      张荣
    • 依托单位：
      福建工程学院