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振動分光法と偏光鈑射蛍光EXAFS法によるレ-ザ-・デポジション素過程の解明

振動分光法と偏光鈑射蛍光EXAFS法によるレ-ザ-・デポジション素過程の解明
使用振动光谱和偏振光荧光 EXAFS 方法阐明激光沉积的基本过程
批准号：
03216207
负责人：
岩澤 康裕
金额：
$1.47万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1991
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1991 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-03216207/
关键词：
固体表面振動分光蛍光EXAFSレ-ザ-・デポジション酸化コバルトエピタキシャル成長

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项目成果

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レ-ザ-・デポジション法は、半導体基板上に直接サブミクロン・オ-ダ-の回路パタ-ンを作製しうる次世代極微細デバイス作製技術として多くの注目を集めている.その実現のためにはキ-プロセスである表面反応素過程を解明する必要がある.本研究では、界面構造を基板表面にたいして平行方向と垂直方向に独立に決定しうる新しい表面構造解析手法である偏光全反射蛍光EXAFSと、表面での化学反応過程の解明にきわめて有効な高感度振動分光法である高分解能電子エネルギ-損失分光法を用いて、表面での化学反応により超薄膜形成過程の追跡を試みてきた.今年度は、主としてα‐アルミナ表面上にジコバルトオクタカルボニル(dicobaltoctacarbonyl)のCVDにより成長させた酸化コバルト超薄層に関して、偏光全反射蛍光EXAFSにより検討した.実験は、高エネルギ-物理学研究所放射光実験施設のビ-ムラインBLー7CおよびBLー14Aにおいて行なった.s偏光、p偏光のいずれの場合にも、高いS/B比のEXAFSスペクトルが得られた.これのフ-リエ変換により得られた動径分布関数のピ-ク位置は、スピネル構造を有するバルクCo_3O_4と一致した.しかし、各ピ-クの強度比はs偏光とp偏光とで著しく異なった.このことから、α‐アルミナ(0001)表面上にCo_3O_4の超薄層が特定の方位に成長していることがわかった.さらに、モデルを用いたシミュレ-ションにより、Co_3O_4とα‐アルミナとのエピタキシャル関係を明らかにした.
期刊论文(2)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
M.Shirai,K.Asakura,and Y.Iwasawa: "Structure Determination of Co_3O_4/α‐Al_2O_3(0001) by Polarization‐Resolved Total‐Reflection Flucrescence EXAFS" J.Phys.Chem.
M. Shirai、K. Asakura 和 Y. Iwasawa：“通过偏振分辨全反射荧光 EXAFS 测定 Co_3O_4/α-Al_2O_3(0001) 的结构”J.Phys.Chem。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
前例のないナノ塩基性金属酸化物／ゼオライト触媒による新規高選択的フェノール合成
Design of Novel Confined Single Site Catalysts for Low-Temperature Selective Activation of C-H Bonds
新規高効率触媒作用創出のための完全反応制御と反応原理解明に関する分子理論的研究
表面を媒体とするモレキュラーインプリンティング不斉金属錯体触媒の創成と制御
  • 批准号：
    16033217
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $2.94万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    岩澤 康裕
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
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