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CVDプロセスにかかわる有機金属の動的変換過程と環境への影響評価に関する研究

CVD过程中有机金属动态转化过程研究及环境影响评价

基本信息

批准号：
63602543
负责人：
手塚還
金额：
$ 0.77万
依托单位：
Saitama Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

CVDプロセスに頻用されている有機金属について、その条件下での動的変換過程を総合的に解明し、そこで生じる物質がプロセス系外に排出もしくは放出されたときに及ぼす環境への影響の体系的評価法を確立することを目的に、本研究では従来不完全であった物質収支を確立することにより反応の全容を解明するとともに、現行の排ガス処理装置の問題点を整理分析しガスの前処理を含めた新しい除害処理システムの開発に着手した。以下、内容を1)低温プラズマ反応、2)吸着剤による有機金属化合物の除去、および3)有機金属化合物の大気圧放電除去に分類し、その概要を述べる。1)低温プラズマ反応ではテトラメチルスズ(TMSn)をモデルに、生成物の捕捉、分析手法を改良し、生成物の収支を改善し反応の基本的全体像を明らかにした。主な気体生成物はエタンであり。重合膜中からはSnが良好な収率で回収された。一方、低収率ではあるがトリメチルスズのような化学的に高活性な物質が生成した。この事実は実際のCVDプロセスでも原料ガスの他、それよりもさらに反応性の高い化合物が生成排出される可能性があり、排ガスの適切な処理が必要であることを示唆している。2)現在、有機金属化合物を除去対象にした吸着剤の開発はまだ十分に進んでいない。TMSnをモデルに種々の吸着剤の吸着特性を調べ、有効な吸着剤でも条件が異なると十分な効果が得られない場合があり、反応系を十分考慮して吸着剤を選択する必要があることを明らかにした。また、将来、使用後の吸着剤の廃棄方法が問題となると考えられるが、その点も考慮した吸着除害剤の開発が必要であることを示した。3)有機金属化合物は大気圧グロー放電により容易に低級炭化水素と金属に分解された。放電電力を制御することにより反応速度を容易に制御でき、反応系中で発生してラインを汚染する金属微粒子を分離除去できれば有効な前処理技術となり得ることを示した。

The organic metal in the CVD system is used for the analysis of the organic metal in the reaction system. The problem points of the current exhaust treatment device are sorted out and analyzed, and the pretreatment of the exhaust treatment device includes the development of the new exhaust treatment system. The following contents: 1) Low temperature reaction, 2) Removal of organic metal compounds by sorption, 3) Classification of organic metal compounds under high pressure, 3) Summary of organic metal compounds 1)Low temperature reaction system (TMSn), product capture, analysis methods to improve, product collection to improve the basic image of the whole system The main body of the product is. The film has a good recovery rate. One side, the low rate of production, high activity of chemical substances In this case, the possibility of formation and discharge of highly reactive compounds from CVD raw materials is necessary. 2)At present, the development of organic metal compounds for the removal of impurities has been greatly improved. The adsorption characteristics of TMSn are adjusted according to the adsorption conditions, and the adsorption system is considered according to the adsorption conditions. In the future, after use, the method of disposal of sorption agents should be considered. 3)Organic metal compounds are easy to decompose due to high pressure. China's electric power control technology is easy to control, and the anti-pollution system is easy to separate and remove metal particles.